[实用新型]石英基板粘合加热装置有效
申请号: | 201120049914.9 | 申请日: | 2011-02-28 |
公开(公告)号: | CN202089899U | 公开(公告)日: | 2011-12-28 |
发明(设计)人: | 皮富涛 | 申请(专利权)人: | 深圳市泰科微光学有限公司 |
主分类号: | C03C27/10 | 分类号: | C03C27/10 |
代理公司: | 深圳市中知专利商标代理有限公司 44101 | 代理人: | 成义生;罗永前 |
地址: | 518000 广东省深圳市龙*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 石英 粘合 加热 装置 | ||
1.一种石英基板粘合加热装置,其特征在于,该装置设有加热板(1),其内设有热电偶(11),在加热板(1)下设有温控箱(3),该温控箱(3)内设有温度控制器(31),在温控箱(3)外侧设有电源开关(32),所述温控箱(3)与加热板(1)之间设有隔热板(2)。
2.如权利要求1所述的石英基板粘合加热装置,其特征在于,所述热电偶(11)与固态继电器(12)串接,固态继电器(12)的另一端并接于电源开关(32)与温度控制器(31)之间。
3.如权利要求1所述的石英基板粘合加热装置,其特征在于,所述温度控制器(31)分别与电源开关(32)、热电偶(11)及固态继电器开关(12)并接。
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