[实用新型]立式真空镀膜机的均温玻璃载具装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种真空镀膜机的载具，尤其涉及一种立式真空镀膜机的均温玻璃载具装置。

背景技术

现有立式真空镀膜机如图8所示，是在腔体40内的底部以及顶部分别设有一沿左、右方向延伸的驱动构造41以及一导引构造42，又在腔体40的前面以及内部的后侧各设有一溅射源43以及一加热器44，并将玻璃载具45设置在驱动构造41上而可沿左、右方向行进，当玻璃载具45行进时顶部受导引构造42的导引。

如图8所示，现有的玻璃载具45为矩形的不锈钢框体，在玻璃载具45的中间形成一矩形且在前、后面形成开口的窗口451，对应窗口451的周围，在玻璃载具45内周面的中间以环绕的形态朝内凸伸一搭板部452，对应窗口451的左、右侧以及底侧的前、后位置，各在玻璃载具45的后片分别设有一定位器46，各定位器46设有一以弹簧朝外顶出的顶板461，各顶板461的内端伸入窗口451的范围内。

当玻璃基板47安装在玻璃载具45时，是将周缘的前面贴抵在玻璃载具45的搭板部452后面，并以各个定位器46的顶板461卡抵在玻璃基板47周缘的后面定位，当镀膜玻璃基板47随着玻璃载具45行进在腔体40内时，可经由加热器44加热并以溅射源43镀膜。

现有的玻璃载具45虽可乘载玻璃基板47进行镀膜的加工，但由于玻璃的比热为600J/Kg·k，钢的比热为450J/Kg·k，两者的差异不大，但玻璃载具45的重量却远重于玻璃基板47(约六比一)，会吸走大量的热能，因此在加热器44对玻璃基板47进行加热时，玻璃基板47直接接触玻璃载具45搭板部452的边缘部分会流失热量，使得玻璃基板47边缘的温度比中间的温度低，因玻璃基板47上温度的不均进而影响玻璃基板47镀膜的均匀性。

由于现有的玻璃载具是以框体直接接触玻璃基板，因此造成玻璃基板周缘的温度较低进而影响镀膜品质的问题。针对该情况，设计人提出本实用新型，以期能克服上述缺陷。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种真空镀膜机的载具，其以框体内侧另外设置的均温板接触玻璃基板，进而使定位玻璃基板达到温度平均的效果。

为达到上述目的，本实用新型提供一种立式真空镀膜机的均温玻璃载具装置，包括：

一承载外框，为矩形的框体并在顶部以及底面分别形成沿左、右方向延伸的导轨以及输送面，又在该承载外框的中间形成一矩形且在前、后面形成开口的窗口，在该承载外框内周面的中间朝内凸伸一搭板部；

一均温板，为矩形且外缘的宽度小于该搭板部外缘宽度的方框形薄板，其以外侧周围的前面贴抵结合在该搭板部的后面，并且内缘朝内延伸凸出该搭板部的内缘；以及

四个定位器，对应该窗口的左、右两侧以及底缘的左、右位置，分别设置在该承载外框的左、右两侧的后面以及底部后面的左、右位置，各定位器设有一弹性朝外伸出的顶板，各顶板的内端伸入该窗口的范围内，在各顶板的内端面形成一夹扣面，在各夹扣面与该均温板内缘的后面之间形成一玻璃扣抵凹口。

进一步，本实用新型在所述搭板部后面的中间设有多个朝后凸伸的插销座，所述插销座以环绕的形态结合于所述搭板部，各插销座为柱体并在外周面的相反两侧贯穿一插销孔；对应各个插销座的位置，在所述均温板穿设多个插销座孔，以各个插销座孔套在各个插销座的周围，又在各个插销孔插设一插销，以各插销卡抵在该均温板的后面定位。

较佳的，本实用新型在所述均温板底部后面的左、右位置各结合一朝后凸出的玻璃基板托座。

本实用新型承载玻璃基板时，是将玻璃基板周缘的前面贴抵在均温板内缘的后面，并以各定位器的顶板抵靠在玻璃基板的周边，将玻璃基板夹扣在各玻璃扣抵凹口定位，镀膜时玻璃基板连同承载外框一同进入真空的腔体内，以枪体内的加热器对玻璃基板加热，又以腔体前侧设有的溅射源对玻璃基板镀膜。

本实用新型的有益效果在于，由于设置玻璃基板时，玻璃基板的边缘仅贴抵在均温板的外缘，均温板也仅贴设固定在承载外框内侧的搭板部，因此能以均温板的构造作为玻璃基板与承载外框之间的中介，当对玻璃基板进行加热、镀膜时，能有效降低玻璃基板周缘被承载外框大量吸走的热能，能保持玻璃基板全区的均温，使镀膜时形成在玻璃基板表面的薄膜具有均匀的品质。

附图说明

图1是本实用新型较佳实施例的立体图。

图2是本实用新型较佳实施例的分解图。

图3是本实用新型较佳实施例的放大立体图。

图4是本实用新型较佳实施例的放大剖面图。

图5是本实用新型较佳实施例的另一放大剖面图。

图6是本实用新型较佳实施例设置在腔体内的立体图。