[实用新型]一种直拉单晶炉用热场

权利要求书

1.一种直拉单晶炉用热场，其特征是：所述热场从上到下，有上保温盖(1)，上保温层(12)，热屏支撑环(2)和保温筒，保温筒分为上保温筒(3)、中保温筒(5)和下保温筒(19)，热场底部具有底部保温层，热场中心设有支承轴(16)，支承轴(16)上具有坩埚托盘(15)，坩埚托盘(15)上依次是碳碳坩埚(14)和石英坩埚(13)，保温筒和碳碳坩埚(14)之间设有加热器(6)，热屏支撑环(2)连接有热屏，所述热屏为内外两层，中间有碳毡隔热层，其特征是：所述的上保温层(12)的厚度为20～40mm，所述的上保温筒(3)内径与加热器(6)内径之间的距离5～10mm，底部保温层厚度为100～140mm。

2.根据权利要求1所述的直拉单晶炉用热场，其特征是：所述碳碳坩埚(14)外径与加热器(6)内径之间的距离为15～25mm，所述加热器(6)外径与中保温筒(5)内径之间的距离为10～15mm，所述热屏的碳毡隔热层上端最小处厚度为5～10mm。