[实用新型]立式真空镀膜机的基板传输机构装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种立式真空镀膜机的装置，尤其涉及一种立式真空镀膜机的基板传输机构装置。

背景技术

现有立式真空镀膜机如图6所示，是在腔体70内的底部以及顶部分别设有一沿左、右方向延伸的驱动构造71以及一导引构造72，又在腔体70的前面以及内部的后侧各设有一溅射源73以及一加热器74，并将玻璃载具75设置在驱动构造71上而可沿左、右方向行进，当玻璃载具75行进时顶部受导引构造72的导引而能进行直线运动。

前述现有的导引构造72是在腔体70顶部的底面结合多个分别朝下垂直延伸的基板支架杆721，在多数个基板支架杆721的底端结合一基板722，在基板722底面以左、右间隔的形态结合多对限位滚轮723，各对限位滚轮723分设于前、后两侧，并且各以内侧抵靠在玻璃载具75顶缘的前面与后面，作为传输玻璃载具75时的导正以及上方的固定手段。

但现有的玻璃载具75在抽真孔的腔体70内以加热器74加热，又以溅射源73进行玻璃基板的镀膜作业时，薄膜容易附着在各个限位滚轮723上，在各个限位滚轮723又在玻璃载具75的两边，为外露的形态，因此经常在传输玻璃载具75的过程中，摩擦限位滚轮723周围的镀膜形成粉尘，落在玻璃载具75承载的玻璃基板上造成镀膜品质的不良，影响到机台产出的良率。

因此，现有的立式真空镀膜机传输玻璃载具的滚轮为外露的形态，因此会产生粉尘污染产品影响良率的问题。

实用新型内容

本实用新型的主要目的是提供一种立式真空镀膜机的基板传输机构装置，该装置在玻璃载具的顶部形成用以容纳成排滚轮的导引沟，解决粉尘掉落的问题。

为达到上述目的，本实用新型提供一种立式真空镀膜机的基板传输机构装置，包括：

一腔体，为竖直的壳体并具有前、后面以及左、右两侧，在该腔体内部以贯穿左、右两侧的形态穿设一溅镀空间；

一驱动构造，设置在该溅镀空间内的底部，在该腔体底部的顶面结合一沿左、右方向延伸的输送轮支架，在该输送轮支架以左、右间隔的形态结合多个输送轮；

一导引构造，设置在该溅镀空间内的顶部，在该腔体顶部的底面以左、右间隔的形态结合多个分别朝下垂直延伸的基板支架杆，在多数个基板支架杆的底端结合一基板，在该基板底面的中间以左、右间隔的形态结合多个朝下凸伸的滚轮座，在各滚轮座底部的周面以可旋转的形态套设一滚轮；以及

一玻璃载具，设有一承载外框，其为矩形且竖直设置的框体，该承载外框的底面置放在该输送轮支架的各个输送轮上，该承载外框的顶部凹设一沿左、右方向延伸且贯穿左、右两侧的导引沟，该导引沟容纳导引构造的各个滚轮在内部滚动。

进一步，本实用新型在所述承载外框前面的顶缘以及后侧的顶缘各结合一朝上凸出该承载外框顶面的限位板，各该限位板为沿左、右方向延伸的长板体，所述导引沟是形成在两限位板与该承载外框的顶面之间。

更进一步，本实用新型在所述各限位板内面的左、右两端部分别形成一导引斜面。

本实用新型在玻璃载具的顶部形成导引沟，并在导引构造的底部设有一排的滚轮，使得导引构造的各个滚轮能够容纳在导引沟内滚动，当玻璃载具通过腔体的溅镀空间，在导引构造上传输时，能够受到各个滚轮的导引。

本实用新型的有益功效在于，由于各滚轮设在玻璃载具顶部的导引沟内，因此能避免滚轮滚动时粉尘直接掉落，能避免粉尘污染玻璃基板的状况发生，又能隐蔽导引构造底部的各个滚轮，当进行溅镀时，薄膜不会附着在滚轮上，使得滚轮的转动能够更为流畅，不会因为薄膜的附着而影响导引传输玻璃载具的稳定性。

附图说明

图1是本实用新型较佳实施例的立体图。

图2是本实用新型较佳实施例的分解图。

图3是本实用新型较佳实施例的剖面图。

图4是本实用新型较佳实施例的侧视图。

图5是本实用新型较佳实施例放大的剖面图。

图6是现有立式真空镀膜机的示意图。

元件符号说明

10……腔体                       11……溅镀空间

12……开口                       20……溅射源

30……驱动构造                   31……输送轮支架

311……输送轮                    40……加热器

41……加热器支架                 50……导引构造

51……基板支架杆                 52……基板