[实用新型]激光光束聚焦焦斑检测装置

权利要求书

1.一种激光光束聚焦焦斑检测装置，用于检测激光光束通过光学机构后在工件上的聚焦变化，其特征在于，包括挡板、平凸柱面透镜、相机、监视器及依次排列并相互平行设置的线性偏振激光器、偏振分光棱镜、四分之一波片、对物透镜，所述线性偏振激光器、偏振分光棱镜、四分之一波片及对物透镜的中心位于同一直线上形成第一光轴，所述线性偏振激光器产生平行的线性偏振激光光束，所述线性偏振激光光束呈圆形，所述挡板设于所述偏振分光棱镜与所述激光器之间并将所述圆形的线性偏振激光光束阻挡成为半圆形的线性偏振激光光束，所述对物透镜正对所述工件，所述相机具有镜面，所述偏振分光棱镜、平凸柱面透镜及相机的镜面依次排列并相互平行设置，所述偏振分光棱镜、平凸柱面透镜及相机的镜面的中心位于同一直线上形成第二光轴，所述第一光轴与第二光轴正交，所述平凸柱面透镜的凸面正对所述相机的镜面，所述监视器与所述相机连接并显示图像。

2.如权利要求1所述的激光光束聚焦焦斑检测装置，其特征在于：所述线性偏振激光器与所述偏振分光棱镜之间还设有用于对线性偏振激光光束进行扩束的扩束器，所述挡板位于所述扩束器与所述偏振分光棱镜之间，所述扩束器的中心位于所述第一光轴上。

3.如权利要求1所述的激光光束聚焦焦斑检测装置，其特征在于：所述偏振分光棱镜与所述平凸柱面透镜之间设有凸透镜，所述凸透镜的中心位于第二光轴上。

4.如权利要求1所述的激光光束聚焦焦斑检测装置，其特征在于：所述偏振分光棱镜由两等边直角三棱镜合成并呈正方体形，所述偏振分光棱镜的对角面设有偏振分光膜片，所述四分之一波片、对物透镜、工件、平凸柱面透镜、相机及监视器均位于所述偏振分光棱镜的对角面的同一侧。