[实用新型]高速数字扫描直写光刻装置

权利要求书

1.一种高速数字扫描直写光刻装置，其特征在于，其包括光源、光源准直光路、图形发生器、成像光路系统、基底、自动运动平台、电脑、数据处理引擎、数据传输板、成像镜头，成像镜头组至少包含两个数字微镜阵列和锥形反射棱镜，锥形反射棱镜实现数字微镜阵列的拼接，设计文档通过电脑传送至数据处理引擎、数据传输板，曝光光线从光源发出，进入光源准直光路，产生均匀的面光源投影至图形发生器，图形发生器上的图形信息伴随光线进入成像光路系统，曝光光线穿过投影光路最后投影在自动运动平台所载的基底上。

2.如权利要求1所述的高速数字扫描直写光刻装置，其特征在于，所述光源为发光二极管、准分子激光器或汞灯等波长小于436nm的紫外光源。

3.如权利要求1所述的高速数字扫描直写光刻装置，其特征在于，所述光源准直光路至少包含一个复眼和一片凸透镜。

4.如权利要求1所述的高速数字扫描直写光刻装置，其特征在于，所述成像光路系统包括光耦合器、第一阶光路成像系统、微透镜阵列、微光栅阵列和第二阶光路成像系统，第一阶光路成像系统实现光耦合器后的多个微透镜阵列的拼接像在微透镜阵列上表面成像；微光栅阵列与微透镜阵列对应，实现消除或降低特定阶的光或者不同像素调制的光之间的干涉；第二阶光路成像系统实现微光栅阵列到基底表面的投影成像。

5.如权利要求1所述的高速数字扫描直写光刻装置，其特征在于，所述锥形反射棱镜的底面为正方形，其他四面为等腰三角形，四个等腰三角形与底面正方形所成的面夹角均为四十五度。

6.如权利要求5所述的高速数字扫描直写光刻装置，其特征在于，所述锥形反射棱镜的正方形底面平行于基底的曝光面放置。

7.如权利要求5所述的高速数字扫描直写光刻装置，其特征在于，所述锥形反射棱镜的等腰三角形面将数字微镜阵列的图形反射至基底的曝光面上。

8.如权利要求7所述的高速数字扫描直写光刻装置，其特征在于，所述每个数字微镜阵列与锥形反射棱镜中的一个等腰三角形面相对应。

9.如权利要求5所述的高速数字扫描直写光刻装置，其特征在于，所述锥形反射棱镜的两个等腰三角形面作为两个数字微镜阵列的反射面。

10.如权利要求5所述的高速数字扫描直写光刻装置，其特征在于，所述锥形反射棱镜的四个等腰三角形面作为四个数字微镜阵列的反射面。