[实用新型]循环型集尘装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及使通过过滤器收集、净化后的空气返回原来的作业室的循环型集尘装置。

背景技术

用于密封半导体芯片等的半导体密封用树脂组成物在通过搅拌机将环氧树脂、固化剂、固化促进剂、分型剂、阻燃剂、着色剂等各成分搅拌后成形为板状，进而用锤子粉碎而成形为所希望的形状的小块。此时，产生大量的粉尘，因设备的污染而导致成型品的可靠性的降低及作业环境的恶化等(参照专利文献1)。在大量产生这样的粉尘的环境下，通过集尘装置回收飞散的粉尘。

另外，在使用成形为规定形状的小块密封半导体芯片时，通过振动输送带等将小块向密封成形装置供给，但小块自身也产生粉尘，或者附着在小块上的粉尘飞散。因此，提出有在密封成形装置自身上安装集尘装置，以免在成形模具附近附着粉尘(参照专利文献2)。

根据以往的集尘装置，通过过滤器除去粉尘，将净化后的排气直接排到屋外。然而，当通过集尘装置将作业室(例如，工厂的建筑物内)的空气向屋外排出时，作业室成为负压，从作业室外(例如，屋外)流入新的空气。通常，将作业室调温·调湿成气温15～20℃、湿度30～50％。当从作业室外流入具有温度差及/或湿度差的新的空气时，必须使空调设备动作来进行调温·调湿，从而空调设备消耗的电力增加。

专利文献1：日本特开平10-128742号公报

专利文献2：日本特开平9-219414号公报

实用新型内容

本实用新型为了解决上述现有例的问题而提出，其目的在于提供一种循环型集尘装置，该装置能够从大量产生粉尘的作业室有效地除去粉尘，同时能够降低空调设备消耗的电力。

为了达成上述目的，本实用新型的循环型集尘装置的特征在于，具备：鼓风机，其用于吸引作业室的空气；除尘过滤器，其过滤通过所述鼓风机吸引的空气，除去所述吸引的空气中含有的粉尘；返回通道，其用于使通过所述除尘过滤器过滤后的空气的至少一部分向所述作业室返回；净化过滤器，其设置于所述返回通道，用于进一步过滤向所述作业室返回的空气。

在上述结构中，优选所述净化过滤器由材质不同的至少两种过滤器构成。

还优选对所述返回通道的至少一部分进行带电处理，从而静电吸附浮游粉尘。

优选用于使空气从所述返回通道向所述作业室返回的开口的总面积比所述鼓风机的吸引侧开口的面积宽。

实用新型效果

根据本实用新型的结构，由于以往排到屋外的排气的至少一部分返回原来的作业室，因此减少了作业室的气压降低，减少了从作业室外流入的新的空气量。另外，返回作业室的空气的温度及湿度与原来的作业室的温度及湿度不太有差别。因此，在使空调设备动作而进行调温·调湿时，能够使空调设备消耗的电力与以往的情况相比大幅度地降低。此外，虽说通过除尘过滤器过滤，但由于排向屋外的排气中含有微量的粉尘且排向屋外的排气量也变小，因此能够进一步降低屋外环境的污染。进而，由于向作业室返回的空气通过净化过滤器进一步过滤，因此几乎不存在粉尘向作业室循环的情况。

附图说明

图1是表示本实用新型的一实施方式的循环型集尘装置的基本结构及设置状态的图。

图2是表示本实用新型的一实施方式的循环型集尘装置的变形例的图。

图3是表示本实用新型的一实施方式的循环型集尘装置的另一变形例的图。

符号说明：

1循环型集尘装置

2作业室

3建筑物

5调温·调湿装置(空调设备)

11吸尘罩(吸气口)

12吸引通道

13鼓风机

14除尘过滤器

15返回通道

15a返回通道的空气返回侧的开口

16净化过滤器

17通风口

18隔热材料

20电源(带电处理)

具体实施方式