[实用新型]一种压电陶瓷马达驱动的位移平台有效

专利信息
申请号: 201120065875.1 申请日: 2011-03-14
公开(公告)号: CN201994345U 公开(公告)日: 2011-09-28
发明(设计)人: 江海;廖善海 申请(专利权)人: 海德星科技(厦门)有限公司
主分类号: H01L41/09 分类号: H01L41/09;H01L41/053
代理公司: 厦门南强之路专利事务所 35200 代理人: 刘勇
地址: 361009 福建省厦*** 国省代码: 福建;35
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摘要:
搜索关键词: 一种 压电 陶瓷 马达 驱动 位移 平台
【说明书】:

技术领域

本实用新型涉及一种电动位移平台,尤其是涉及一种压电陶瓷马达驱动的位移平台。

背景技术

传统的电动位移平台一般由步进电机、基台、驱动螺杆和滑块几大部件组成。由于普通步进电机体积的限制,一般置于基台的外部,导致较大的体积。另外,步进电机和螺杆的重量较重,当由线性位移平台叠加组合而成的二维或三维平台时,由于位移平台整体重量较大,因此位移平台的运动和加速受到限制。压电陶瓷马达作为一种全新的驱动器,以低速大转矩、大静态保持力矩、响应速度快、体积小重量轻,纳米量级的分辨率以及无磁场干扰等优点受到国内外的广泛关注,并在众多领域(如电镜光学)得到了应用。通常,压电陶瓷马达可以分为直线型和旋转型。直线压电陶瓷马达中的动子作直线运动;而旋转压电陶瓷马达中的动子作旋转运动。当压电陶瓷马达用于平台驱动时,可直接驱动平台的滑块,而不需要普通电磁马达驱动所用的驱动螺杆,同时由于压电陶瓷马达的重量较轻,使整体平台重量大为减小。

发明内容

本实用新型的目的是克服传统电动位移平台的缺点,提供一种尺寸小、重量轻、集成化程度高、精度高的压电陶瓷马达驱动的位移平台。

本实用新型的技术方案之一:

一种压电陶瓷马达驱动的位移平台,设有压板、导轨、滑块和至少1个压电陶瓷马达;滑块与导轨滑动配合,导轨设有马达放置槽,压电陶瓷马达安装于马达放置槽内,压电陶瓷马达的驱动足与滑块触接,压板固于导轨上端。

所述至少1个压电陶瓷马达可为2个压电陶瓷马达,2个压电陶瓷马达并联设于导轨内,2个压电陶瓷马达驱动足均与滑块触接,这样可增加驱动力(推力)。

所述压电陶瓷马达最好设有定子套和预紧弹簧片,定子套卡套在定子上,预紧弹簧片与定子套连接。

所述压电陶瓷马达的定子最好为柱状或管状定子,这样更便于安装在导轨内的有限空间中。

本实用新型的技术方案之二:

一种压电陶瓷马达驱动的位移平台,设有压板、导轨、滑块和至少1个压电陶瓷马达;滑块与导轨滑动配合,滑块设有马达放置槽,压电陶瓷马达安装于马达放置槽内,压电陶瓷马达的驱动足与导轨触接,压板固于滑块上端。

所述至少1个压电陶瓷马达可为2个压电陶瓷马达,2个压电陶瓷马达并联设于导轨内,2个压电陶瓷马达驱动足均与滑块触接,这样可增加驱动力(推力)。

所述压电陶瓷马达最好设有定子套和预紧弹簧片,定子套卡套在定子上,预紧弹簧片与定子套连接。

所述压电陶瓷马达的定子最好为柱状或管状定子,这样更便于安装在滑块内的有限空间中。

与传统的电动位移平台比较,本实用新型具有如下突出优点:

采用压电陶瓷马达作为驱动器,并将压电陶瓷马达内置于导轨或滑块内,可以制成集成化程度高、体积小巧、重量轻、可高精度控制位移量的位移平台。而且可将2个压电陶瓷马达驱动的位移平台进行组合使用,其中一个用于驱动位移平台沿X轴方向移动,另一个用于驱动位移平台沿Y轴方向移动,这样,就可制成二维运动的位移平台,从而大大拓展了本实用新型的应用范围。若需要加大推力,可增加压电陶瓷马达数量,采用2个或2个以上压电陶瓷马达。

附图说明

图1为本实用新型实施例1的外观结构示意图。

图2为图1的结构分解示意图。

图3为本实用新型实施例2的结构分解示意图。

图4为本实用新型实施例3的结构分解示意图。

图5为本实用新型实施例4的外观结构示意图。

图6为图5的结构分解示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步说明。

实施例1

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