[实用新型]硅单晶生长炉的导流筒升降机构

说明书

【技术领域】

本实用新型涉及一种硅单晶生长炉，具体涉及一种硅单晶生长炉的导流筒升降机构。

【背景技术】

硅单晶生长炉是生产单晶硅棒的设备，传统的硅单晶生长炉的导流筒与石英坩埚之间的位置是固定不变的，导流筒由炉体的盖板固定支撑，导流筒的下口位置低于石英坩埚的上口位置，所以每次往石英坩埚内投放的硅原料量就受到限制，导致硅单晶生长炉的产能受到限制，提高了成本。

【发明内容】

鉴于背景技术存在的不足，本实用新型的目的旨在提供一种能提高硅单晶生长炉每次投料量，增大硅单晶生长炉产能的硅单晶生长炉导流筒升降机构。

本实用新型是通过以下技术方案来实现的：

硅单晶生长炉的导流筒升降机构，其特征在于：硅单晶生长炉的导流筒升降机构包括吊钩、拉杆和座套，座套套接在硅单晶生长炉的引晶装置的重锤杆上，吊钩固定在导流筒的上端口，拉杆的上端与座套铰接连接，拉杆的下端钩在吊钩上。

当往石英坩埚内投料时，导流筒和引晶装置一起处于高位，既导流筒的下口位置相对石英坩埚的上口位置往上提升了，石英坩埚这部分腾出的空间就可以用于增加投料量，在投料融化后，熔硅的液面下降，此时导流筒与引晶装置一起下放，导流筒的下口虽然回到原来工作位置，但因为熔硅的液面较投料时的低，所以导流筒的下口也不会与硅料接触，保证了硅单晶生长炉的正常工作，由于每次投料量的提高，所以硅单晶生长炉的产能得以增大，节约了成本。

【附图说明】

图1为本实用新型的结构图

【具体实施方式】

参照附图1，这种硅单晶生长炉的导流筒升降机构，包括吊钩3、拉杆2和座套1，座套1活动套设在硅单晶生长炉引晶装置的重锤杆4上部分直径较小的轴杆外圆，重锤杆4的下端连接有籽晶6，重锤杆4的上端连接钢丝绳5，吊钩3通过螺钉固定在导流筒7的上端口，拉杆2的上端与座套1铰接连接，拉杆2的下端钩在吊钩3上。

本实用新型是这样提高硅单晶生长炉每次的投料量，增大硅单晶生长炉的产能的：在往石英坩埚内投料时，引晶装置肯定处于高位，所以导流筒也一起处于高位，这样导流筒的下口位置相对石英坩埚的上口位置往上提升了，石英坩埚这部分腾出的空间就可以用于增加固体硅原料的投料量，在投料完全融化后，熔硅的液面下降，此时引晶装置开始下放，籽晶开始引晶，导流筒随之一起下放，导流筒的下口回到原来工作位置，但因为熔硅的液面较投料时的低，所以导流筒的下口不会与硅料接触，保证了硅单晶生长炉的正常工作，由于每次投料量的提高，所以硅单晶生长炉的产能得以增大，节约了成本。以以前硅单晶生长炉每次投料60KG为例，采用本实用新型技术后，硅单晶生长炉每次可以投料75KG，提升产能25％。