[实用新型]周期性镂空结构的太赫兹波滤波器

权利要求书

1.一种周期性镂空结构的太赫兹波滤波器，其特征在于包括信号输入端(1)、信号输出端(2)、镂空传输层(3)、基体(5)、梭形镂空结构(6)、环形弧镂空结构(7)；镂空传输层(3)与基体(5)相连，镂空传输层(3)包括N×N个镂空周期单元(4)，镂空周期单元(4)包括三个相互交叉的梭形镂空结构(6)和六个环形弧镂空结构(7)，梭形镂空结构(6)两端分别设有环形弧镂空结构(7)；信号从信号输入端(1)输入，依次经过镂空传输层(3)、基体(5)之后到达信号输出端(2)，实现对信号进行滤波。

2.根据权利要求1所述的一种周期性镂空结构的太赫兹波滤波器，其特征在于所述的两个相邻镂空周期单元(4)的间距为80～120μm。

3.根据权利要求1所述的一种周期性镂空结构的太赫兹波滤波器，其特征在于所述的六个环形弧镂空结构(7)等间距排列，其间距是4～8μm，环形弧镂空结构(7)的环形内径为24～36μm，环形外径为40～56μm。

4.根据权利要求1所述的一种周期性镂空结构的太赫兹波滤波器，其特征在于所述的基体(5)的材料为高阻硅材料，镂空传输层(3)的材料为铜。