[实用新型]一种可提高单晶炉生长速度的单晶炉热场有效

专利信息
申请号: 201120067977.7 申请日: 2011-03-16
公开(公告)号: CN202030855U 公开(公告)日: 2011-11-09
发明(设计)人: 张志强;黄振飞 申请(专利权)人: 常州天合光能有限公司
主分类号: C30B15/00 分类号: C30B15/00
代理公司: 常州市维益专利事务所 32211 代理人: 王凌霄
地址: 213031 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 提高 单晶炉 生长 速度 单晶炉热场
【权利要求书】:

1.一种可提高单晶炉生长速度的单晶炉热场,包括热屏(6),其特征是:在所述的热屏(6)的内侧附加一段具有锥度的筒状的冷却器(1)。

2.根据权利要求2所述的可提高单晶炉生长速度的单晶炉热场,其特征是:所述的冷却器(1)和紧贴热屏(6)内侧,和热屏(6)内侧具有相同的锥度。

3.根据权利要求1或2所述的可提高单晶炉生长速度的单晶炉热场,其特征是:所述的冷却器(1)通过连接管(2)连接到炉筒上,冷却器(1)的冷却介质进出口均设置在炉筒上,冷却介质通过冷却介质进出口并沿连接管(2)进入冷却器(1)进行冷却。

4.根据权利要求3所述的可提高单晶炉生长速度的单晶炉热场,其特征是:所述的炉筒为一段独立的副炉筒(3)。

5.根据权利要求1或2所述的可提高单晶炉生长速度的单晶炉热场,其特征是:所述的冷却器(1)的高度占热屏(6)总高的40%~80%,下端距离热屏(6)下边沿的高度为20~300mm。

6.根据权利要求3所述的可提高单晶炉生长速度的单晶炉热场,其特征是:所述的冷却介质进出口上设置流量调节阀(4)。

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