[实用新型]一种可提高单晶炉生长速度的单晶炉热场有效
申请号: | 201120067977.7 | 申请日: | 2011-03-16 |
公开(公告)号: | CN202030855U | 公开(公告)日: | 2011-11-09 |
发明(设计)人: | 张志强;黄振飞 | 申请(专利权)人: | 常州天合光能有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00 |
代理公司: | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人: | 王凌霄 |
地址: | 213031 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 提高 单晶炉 生长 速度 单晶炉热场 | ||
1.一种可提高单晶炉生长速度的单晶炉热场,包括热屏(6),其特征是:在所述的热屏(6)的内侧附加一段具有锥度的筒状的冷却器(1)。
2.根据权利要求2所述的可提高单晶炉生长速度的单晶炉热场,其特征是:所述的冷却器(1)和紧贴热屏(6)内侧,和热屏(6)内侧具有相同的锥度。
3.根据权利要求1或2所述的可提高单晶炉生长速度的单晶炉热场,其特征是:所述的冷却器(1)通过连接管(2)连接到炉筒上,冷却器(1)的冷却介质进出口均设置在炉筒上,冷却介质通过冷却介质进出口并沿连接管(2)进入冷却器(1)进行冷却。
4.根据权利要求3所述的可提高单晶炉生长速度的单晶炉热场,其特征是:所述的炉筒为一段独立的副炉筒(3)。
5.根据权利要求1或2所述的可提高单晶炉生长速度的单晶炉热场,其特征是:所述的冷却器(1)的高度占热屏(6)总高的40%~80%,下端距离热屏(6)下边沿的高度为20~300mm。
6.根据权利要求3所述的可提高单晶炉生长速度的单晶炉热场,其特征是:所述的冷却介质进出口上设置流量调节阀(4)。
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