[实用新型]激光加工模块与激光加工机台

权利要求书

1.一种激光加工模块，用于对一物件进行激光加工，其特征在于，该激光加工模块包括：

一激光产生器，用于产生一激光束；

一设置于该激光产生器之外的第一反射镜，其中该第一反射镜用于反射该激光束，并且该第一反射镜能相对于该激光产生器沿着一第一方向移动，并且该第一方向平行于入射至该第一反射镜时的该激光束；以及

一设置于该激光产生器之外的振镜元件，该振镜元件能与该第一反射镜沿着该第一方向同步移动，其中该振镜元件用于接收经由该第一反射镜所反射的该激光束并且将该激光束输出至该物件上。

2.如权利要求1所述的激光加工模块，其特征在于，该激光加工模块还包括一第二反射镜，用于反射经由该第一反射镜所反射的该激光束并将该激光束传输至该振镜元件，其中该第二反射镜能与该第一反射镜沿着该第一方向同步移动，并且该第二反射镜能相对于该第一反射镜沿着一第二方向移动，该第二方向平行于入射至该第二反射镜时的该激光束，并且该振镜元件能与该第二反射镜同步移动。

3.如权利要求2所述的激光加工模块，其特征在于，该第一方向垂直于该第二方向。

4.如权利要求2所述的激光加工模块，其特征在于，该激光加工模块还包括一设置于该激光产生器与该第一反射镜之间的第三反射镜，以及一设置于该第二反射镜与该振镜元件之间的第四反射镜，其中，该第三反射镜将该激光产生器产生的激光束反射至该第一反射镜，该第四反射镜将经由第二反射镜反射的激光束反射至该振镜元件，其中，该第一反射镜能相对于该第三反射镜和该激光产生器沿着第一方向移动，该第二反射镜、第四反射镜与振镜元件能同步移动。

5.一种激光加工机台，用于对一物件进行激光加工，其特征在于，该激光加工机台包括：

一用于承载该物件的承载器；

一激光加工模块，包括：

一固定设置的激光产生器，该激光产生器用于产生一激光束；

一设置于该激光产生器之外的第一反射镜，其中该第一反射镜用于反射该激光束，并且该第一反射镜能相对于该激光产生器沿着一第一方向移动，并且该第一方向平行于入射至该第一反射镜时的该激光束；以及

一设置于该激光产生器之外的振镜元件，该振镜元件能与该第一反射镜沿着该第一方向同步移动，其中该振镜元件用于接收经由该第一反射镜所反射的该激光束并且将该激光束输出至该物件上。

6.如权利要求5所述的激光加工机台，其特征在于，该激光加工模块还包括一第二反射镜，用于反射经由该第一反射镜所反射的该激光束并将该激光束传输至该振镜元件，其中该第二反射镜能与该第一反射镜沿着该第一方向同步移动，并且该第二反射镜能相对于该第一反射镜沿着一第二方向移动，该第二方向平行于入射至该第二反射镜时的该激光束，并且该振镜元件能与该第二反射镜同步移动。

7.如权利要求6所述的激光加工机台，其特征在于，该第一方向垂直于该第二方向。

8.如权利要求6所述的激光加工机台，其特征在于，该激光加工模块还包括一设置于该激光产生器与该第一反射镜之间的第三反射镜，以及一设置于该第二反射镜与该振镜元件之间的第四反射镜，其中，该第三反射镜将该激光产生器产生的激光束反射至该第一反射镜，该第四反射镜将经由第二反射镜反射的激光束反射至该振镜元件，其中，该第一反射镜能相对于该第三反射镜和该激光产生器沿着第一方向移动，该第二反射镜、第四反射镜与振镜元件能同步移动。

9.如权利要求5-8中任意一项所述的激光加工机台，其特征在于，该承载器包括一用于输送该物件的轨道。