[实用新型]一种去除不良静电装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及TFT-LCD生产工艺装置技术领域，特别涉及一种去除不良静电的装置。

背景技术

随着市场需求的不断提高，TFT-LCD(Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display，薄膜晶体管-液晶显示器)产品尺寸也随着不断增加，而厚度却要求不断减小，因此在实际生产中，进而要求玻璃基板的尺寸越来越大，而厚度要求越来越薄。目前市场上生产的玻璃基板厚度已纷纷从原有的0.7t下降到0.5t或者更薄。如图1-2所示，为现有技术中玻璃基板放置在金属基台上的结构示意图。其中包括玻璃基板1’、金属基台2’，玻璃基板1’放置在金属基台2’上。金属基台2’四周具有凹槽21’，在金属基台2’的凹槽处安装支架3’，在实际工艺中，需要支架3’将玻璃基板1’抬起，然后水平传输后放下，或者是金属基台2’做相对水平移动，带动玻璃基板1’水平传输。但是，随着玻璃基板1’厚度大幅度的降低，导致玻璃基板1’本身的抗弯曲能力极度下降。由于放置玻璃基板1’的金属基台2’存在的静电吸引，导致玻璃基板1’在被支架3’抬起的时候弯曲度增大，出现玻璃基板1’的两端已经被抬起，但其中心部件仍然吸附在金属基台2’上。由静电引起的玻璃基板1’弯曲度的增大直接导致玻璃基板1’在被抬起的过程中容易发生破裂，增大加工成本，并且影响整个产品的生产效率。

为了解决上述问题，第一种现有技术采用将金属基台2’换成聚合物材质基台，避免静电的产生。但这种方法成本特别昂贵，导致很难被广泛应用。另外一种被普遍应用的方法即在每次流品之前，采用去静电试剂擦拭基台，使其去除静电。但该种方法效率较低，浪费大量时间，使得工艺效率整体下降。

实用新型内容

(一)要解决的技术问题

本实用新型要解决的技术问题是提供一种方便、有效地去除TFT-LCD生产工艺中产生的静电的装置。

(二)技术方案

为了解决上述问题，本实用新型提供一种去除不良静电装置，包括用于承载玻璃基板的基台和离子风装置，所述的离子风装置向承载于基台上的玻璃基板和基台之间吹离子风。

其中，所述的离子风装置包括通风管、与通风管连接的离子机；

通风管位于所述玻璃基板和基台之间；所述通风管的出风口朝向基台的内侧。

其中，所述通风管固定在位于所述玻璃基板下方的可升降的支架上。

其中，所述支架上升的最高处位于基台上方。

其中，所述基台的四周设有凹槽，所述支架可选择地上升至基台上方和下降至所述凹槽内。

其中，所述支架为L型，由水平方向的第一支撑杆和竖直方向的第二支撑杆组成，所述凹槽为与所述支架配合的L型。

其中，所述通风管至少一部分为可伸缩性管。

其中，所述通风管由水平方向的通风管和竖直方向的通风管组成，所述竖直方向的通风管至少一部分为可伸缩性管。

其中，所述水平方向的通风管固定在第一支撑杆的下方；竖直方向的通风管固定在第二支撑杆上。

其中，所述水平方向的通风管可选择地随所述第一支撑杆上升至基台的上方和下降至所述凹槽内。

其中，所述支架的数量为四个，对称地安装在基台的四周，所述基台为金属基台。

(三)有益效果

本实用新型提供的去除不良静电的装置，通过离子风装置向玻璃基本和基台之间吹离子风，有效去除静电。其结构简单，安装方便，可以有效地解决实际生产中玻璃基板和金属基台之间的静电吸引问题，避免玻璃基板和金属基台之间存在的静电吸引作用导致玻璃弯曲破裂，节约生产成本。

附图说明

图1为现有技术玻璃基板放置在金属基台上的结构示意图；

图2为现有技术玻璃基板出现的弯曲现象示意图；

图3为本实用新型实施例金属基台结构示意图；

图4为本实用新型实施例去除不良静电装置的通风管安装在支架上的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不用来限制本实用新型的范围。

本实用新型提供的去除不良静电装置，包括用于承载玻璃基板的基台和离子风装置，所述的离子风装置向承载于基台上的玻璃基板和基台之间吹离子风。通过离子风装置向玻璃基本和基台之间吹离子风，有效去除静电。

实施例1