[实用新型]一种还原炉底盘的密封面保护工装有效
申请号: | 201120077382.X | 申请日: | 2011-03-23 |
公开(公告)号: | CN202063728U | 公开(公告)日: | 2011-12-07 |
发明(设计)人: | 陈清利;宋光海 | 申请(专利权)人: | 四川瑞能硅材料有限公司 |
主分类号: | C01B33/035 | 分类号: | C01B33/035 |
代理公司: | 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214 | 代理人: | 徐宏;吴彦峰 |
地址: | 620041 四*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 还原 底盘 密封 保护 工装 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种还原炉的保护装置,特别是一种还原炉底盘的保护装置。
背景技术
在西门子法生产多晶硅过程中,采用化学气相沉积法生产多晶硅棒。化学气相沉积法是指用多晶硅还原炉底板上的电极来通电,将置于电极上的发热载体(硅芯棒,直径约8mm)加热至1100℃以上,通入三氯氢硅和高纯氢气,发生还原反应,采用化学气相沉积技术生成高纯硅沉积在硅芯棒上,使硅棒不断长大,直到硅棒的直径达到150㎜左右,然后断电断原料停炉,取出硅棒。
在还原生产中,由于生产中会出现异常倒伏,或者在停炉过程中硅棒倒伏,有时在取棒过程中硅棒也会发生破碎。在倒伏或者取棒的过程中,很多破碎的硅渣散落在炉底盘表面。当炉筒起吊离开底盘后,底盘密封面就暴露在外,得不到保护,在取棒过程中或者在清洁底盘的过程中,硅渣很容易将底盘密封面划伤。密封面损坏后,紧固炉筒后仍然会有微漏,由于还原炉内反应物料是高危介质,易燃易爆有毒有害,必须要零泄漏才能生产,因而导致发生泄漏的还原炉不能投入生产,影响了产能。所以需要一种方法来保护还原炉底盘的密封面,避免因泄露而无法开炉生产。
实用新型内容
本实用新型的发明目的在于:针对上述存在的问题,提供一种结构简单,操作方便的还原炉底盘的密封面保护工装,采用该工装能够对密封面起到了保护作用,使得硅棒不易被划伤,能保证生产的正常进行。
本实用新型的还原炉底盘的密封面保护工装,在还原炉底盘的下方设置有密封垫片,所述还原炉底盘下方设置有保护工装,所述密封垫片位于还原炉底盘的底部与保护工装之间。
由于采用了上述结构,可以能够保护还原炉底盘的密封,当炉筒起吊离开底盘后,底盘密封面仍然受到保护工装的保护,在取棒过程中或者在清洁底盘的过程中,硅渣不会将底盘密封面划伤,从而对底盘密封进行有效的保护,使得硅棒不易被划伤,能保证生产的正常进行。
本实用新型的的还原炉底盘的密封面保护工装,所述保护工装的截面呈“L”型结构,其一端位于还原炉底盘下方,另一端贴于还原炉底盘的外壁上。
由于采用了上述结构,保护工装的截面呈“L”型结构,使得其一端置于地面上,一端贴于还原炉底盘的外壁上,从而能够更好保护还原炉的底盘。
本实用新型的还原炉底盘的密封面保护工装,所述保护工装主要由两个半圆环结构组合而成。
由于采用了上述结构,保护工装采用可拆卸的结构方式连接,便于安装和更换,使用方便快捷。
本实用新型采用的技术方案如下:。
综上所述,由于采用了上述技术方案,本实用新型的有益效果是:
1. 本实用新型的还原炉底盘的密封面保护工装,结构简单,操作方便;
2. 本实用新型的还原炉底盘的密封面保护工装,能够对密封面起到了保护作用,使得硅棒不易被划伤,能保证生产的正常进行;
3. 本实用新型的还原炉底盘的密封面保护工装,安装与更换便捷,适合推广。
附图说明
图1是还原炉底盘的密封面保护工装的俯视图;
图2是图1中的A-A方向的局部剖视图。
图中标记:1-还原炉底盘、2-保护工装、3-密封垫片、4-定位销座。
具体实施方式
下面结合附图,对本实用新型作详细的说明。
为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白,以下结合附图及实施例,对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型,并不用于限定本实用新型。
如图1和图2所示,本实用新型的还原炉底盘的密封面保护工装,在还原炉底盘1的下方设置有密封垫片3,所述还原炉底盘1下方设置有保护工装2,所述密封垫片3位于还原炉底盘1的底部与保护工装2之间,所述保护工装2的截面呈“L”型结构,其一端位于还原炉底盘1下方,另一端贴于还原炉底盘1的外壁上,使得还原炉底盘与侧壁上受力均匀,保证了侧壁与底盘之间相互关联,从而有利于对密封的保护。所述保护工装2主要由两个半圆环结构组合而成,并采用螺栓固定连接。
本实用新型的还原炉底盘的密封面保护工装,用锈钢制作两个带边半圆,平直边垫于还原炉底盘下,竖直边紧贴底盘外圆周,结合处焊有支耳,其上开有通孔,穿过螺栓将保护装置紧固。在使用时,待行车将炉筒吊起,现场操作工立即将保护装置放在底盘上,并紧固螺栓。保护工装的平直边即放在了密封面之上,对密封面起到了保护作用,不再怕硅棒的划伤。
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