[实用新型]钽金属表面钝化装置

权利要求书

1.一种钽金属表面钝化装置，其包括热处理炉，所述热处理炉包括：炉膛(10)、组成所述炉膛(10)的带水冷夹套的外壳(11)、和所述炉膛(10)相通的真空压力计(12)、钝化用的含氧气体入口(20)、氩气入口(40)、抽空管道(41)、设置于所述炉膛(10)里的保温屏(30)、设置在所述的保温屏(30)内的加热器(50)、测量温度的热电偶(60)、置于加热器内的热处理坩埚(80)、装入所述坩埚(80)里的待处理的钽金属(70)；其特征在于所述钝化装置还包括氩气循环冷却装置(100A)和钝化用含氧气体制冷系统(90A)；其中

所述的氩气强制冷却装置(100A)主要包括：-待冷却氩气入口(102)，该待冷却氩气入口(102)与热处理炉上部的氩气出口(107)相连；-热交换室(101)，该热交换室(101)通过所述待冷却氩气入口(102)接收来自热处理炉内的温度较高的氩气并通过热交换方式将其冷却；-冷却氩气出口(105)，在热交换室(101)中被冷却的氩气经由该冷却氩气出口(105)排出；和-循环泵(109)，该循环泵(109)由冷却氩气出口接收被冷却的氩气，并经由连接管道(106)从热处理炉下部的氩气入口(40)将所述冷却的氩气输送进入热处理炉用以冷却进行钝化处理的钽金属；

所述含氧气体制冷系统(90A)包括：-待冷却含氧气体入口(92)，其用于接收用于对钽金属进行钝化处理的含氧气体；-热交换室(91)，在该热交换室中通过热交换方式将所述含氧气体制冷；和-冷却含氧气体出口(95)，被冷却的含氧气体由此从热交换室来开并通过保温连接管道从热处理炉上部进入热处理炉用于对钽金属进行钝化。

2.权利要求1所述的钽金属表面钝化装置，其特征在于所述含氧气体是空气或氧气。

3.权利要求1所述的钽金属表面钝化装置，其特征在于所述含氧气体制冷系统还包含氩气入口(93)，可由此引入氩气使其与含氧气体在热交换室中混合，并通过控制氩气与含氧气体各自的流量来改变所得混合气体中的氧浓度。