[实用新型]基底支撑组件和基底传送装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及基底处理技术领域，尤其涉及一种基底支撑组件和基底传送装置。

背景技术

在液晶显示器制造、半导体处理等工艺中，经常需要将待处理的基底(如玻璃基板、半导体晶片等)在不同处理腔室或不同处理设备间传送。而基底传送装置中包括用于支撑基底的基底支撑组件，以及驱动基底支撑组件运动的驱动单元。其中，在大气环境下，基底传送装置中通常使用真空吸附装置来支撑基底；但当要在真空环境下传送基底时(例如在真空沉积设备的不同腔室间传送基底时)，由于无法利用吸附作用，故通常使用摩擦式基底支撑组件来支撑基底。

摩擦式基底支撑组件如图1所示，包括多根机械臂(即支撑臂)21，各支撑臂21可与基底传送装置中的驱动单元相连并受其驱动；在每根支撑臂21上通过螺纹固定连接有多个螺钉柱(即支撑柱)22，每个支撑柱22的顶端固定连接有用于支撑基底9的支撑垫11，支撑垫11的上表面(即远离支撑柱22的一面)为用于与基底9接触的支撑面19；其中支撑垫11通常由硬质橡胶制成，并通过位于其中心部的连接件111与支撑柱22固定连接(使用连接件111是因为支撑柱22通常为金属，难以直接与橡胶支撑垫11相连，当然，不使用连接件111也并不影响其功能的实现)，而支撑面19可为波纹面，以增大其与基底9间的摩擦力，保证支撑臂21横向移动时可产生足够的摩擦力而带动基底9一同运动。

发明人发现现有技术中至少存在如下问题：由于基底9往往很薄且尺寸很大(例如用于大尺寸液晶显示器中的玻璃基板)，故其会因重力而如图1所示产生变形，从而导致支撑面19实际只有一部分与基底9接触，基底9与支撑面19间的接触面积过小；这样，基底9与支撑面19相接触的位置压强就会过大，且不同支撑垫11施加给基底9的力也不均匀，因此其在传送过程中易发生基底9损伤、滑动等问题，无法给基底9提供稳定、可靠地支撑；而要若保证支撑的稳定、可靠，就要增加支撑垫11的数量，但这又会导致成本的增加。

实用新型内容

本实用新型的实施例提供一种基底支撑组件，其可在保证成本较低的情况下为基底提供稳定、可靠地支撑。

为达到上述目的，本实用新型的实施例采用如下技术方案：

一种基底支撑组件，包括：

固定部；

与所述固定部连接的支撑部，所述支撑部具有用于与基底接触的支撑面，且所述支撑面与基底的接触面积能随基底压力的作用而增大。

由于本实用新型的实施例的基底支撑组件中，支撑面与基底间的接触面积能随基底压力的作用而增大，故当基底因重力的作用产生变形时，支撑面与基底间的接触面积会增加，从而保证基底受力均匀且与支撑面接触的位置压强较小。因此，本实施例的基底支撑组件可在保证成本较低(即不增加支撑部数量)的情况下为基底提供稳定、可靠地支撑。

作为本实用新型的实施例的一种优选方案，所述支撑面与水平面间的夹角能随基底压力的作用而改变。

作为本实用新型的实施例的一种优选方案，所述支撑部与所述固定部活动连接。

作为本实用新型的实施例的一种优选方案，所述支撑部通过弹簧与所述固定部活动连接。

作为本实用新型的实施例的一种优选方案，所述支撑部通过软质衬垫与所述固定部活动连接。

作为本实用新型的实施例的一种优选方案，所述支撑部通过滚珠与所述固定部活动连接。

作为本实用新型的实施例的一种优选方案，所述支撑部通过转轴与所述固定部活动连接。

作为本实用新型的实施例的一种优选方案，所述支撑部由软质材料构成。

作为本实用新型的实施例的一种优选方案，所述固定部包括支撑臂和固定连接在所述支撑臂上的支撑柱；所述支撑部包括连接在所述支撑柱上的支撑垫，所述支撑垫远离所述支撑柱的一面为所述支撑面。

作为本实用新型的实施例的一种优选方案，所述固定部包括支撑臂；所述支撑部包括固定连接的支撑柱和支撑垫，所述支撑柱连接在所述支撑臂上，所述支撑垫远离所述支撑柱的一面为所述支撑面。

本实用新型的实施例还提供一种基底传送装置，其可在保证成本较低的情况下稳定、可靠地传送基底。

为达到上述目的，本实用新型的实施例采用如下技术方案：

一种基底传送装置，包括：

上述的基底支撑组件；

用于驱动所述基底支撑组件运动的驱动单元。

由于本实用新型的实施例的基底传送装置中具有上述的基底支撑组件，因此其可在保证成本较低的情况下稳定、可靠地传送基底。

附图说明