[实用新型]一种三氯氢硅合成塔

权利要求书

1.一种三氯氢硅合成塔，其特征在于，主要由依次连接的进气室（1）、热交换反应室（2）、缓冲反应室（3）、排放室（4）构成。

2.根据权利要求1所述的一种三氯氢硅合成塔，其特征在于，所述进气室（1）设置有与其内部相通的氯化氢—热氮气进口（11）。

3.根据权利要求2所述的一种三氯氢硅合成塔，其特征在于，所述进气室（1）内部设置有分气装置（16），且所述分气装置（16）与氯化氢—热氮气进口（11）连接，所述分气装置（16）为设置若干通孔的通气管。

4.根据权利要求2所述的一种三氯氢硅合成塔，其特征在于，所述进气室（1）内部设置还设置有分气隔板（13），所述分气隔板（13）安装有若干喷气嘴（14）。

5.根据权利要求1所述的一种三氯氢硅合成塔，其特征在于，所述热交换反应室（2）设置有与其内部相通的硅粉入口（22）。

6.根据权利要求1所述的一种三氯氢硅合成塔，其特征在于，所述热交换反应室（2）内部设置有热交换管（21）。

7.根据权利要求6所述的一种三氯氢硅合成塔，其特征在于，所述热交换反应室（2）还设置有与热交换管（21）相通的过热蒸汽出口（25）和热水进口（26）。

8.根据权利要求1所述的一种三氯氢硅合成塔，其特征在于，所述缓冲反应室（3）内部设置有挡板（32）。

9.根据权利要求1所述的一种三氯氢硅合成塔，其特征在于，所述排放室（4）设置有合成气体出口（42）。

10.根据权利要求1-9中任意一项所述的一种三氯氢硅合成塔，其特征在于，所述进气室（1）还设置有与其内部相通的排尽口（12）和进气室测压口（15），所述热交换反应室（2）还设置有与其内部相通的排渣口（23）和温度计接口（24），所述缓冲反应室（3）外壁还设置有侧支撑耳（31），所述排放室（4）还设置有吊耳（43）、以及与其内部相通的排放室测压口（41）。