[实用新型]带有阻尼套的单晶晶体生长炉

说明书

技术领域

本实用新型涉及单晶硅领域，尤其涉及一种单晶晶体生长炉。

背景技术

单晶晶体生长炉是多晶硅转化为单晶硅工艺过程中的必备设备，而单晶硅又是光伏发电和半导体行业中的基础原料。单晶硅作为现代信息社会的关键支撑材料，是目前世界上最重要的单晶材料之一，它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料，也是光伏发电利用太阳能的主要功能材料。

现有的单晶晶体生长炉的籽晶腔体是由铝合金不锈钢制成，籽晶腔体底部开通孔后，籽晶绳通过底部的通孔直接穿出；在硅单晶拉制过程中，籽晶绳经常发生摆动，籽晶绳摆动时会和籽晶腔体摩擦，籽晶绳很容易断裂，使籽晶绳的使用寿命大大降低，提高了生产成本。同时，籽晶绳的摆动会降低晶棒精度，影响了产品质量。

发明内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种带有阻尼套的单晶晶体生长炉，该单晶晶体生长炉通过软质的阻尼套限制籽晶绳的摆动，提高籽晶绳的使用寿命。

本实用新型是这样实现的：一种带有阻尼套的单晶晶体生长炉，包括安装在籽晶腔体内的绳轮，绳轮表面开有绳槽，籽晶绳绕在绳轮上卡在绳槽内，籽晶腔体底部开有绳孔，该单晶晶体生长炉还包括阻尼套，所述的阻尼套 安装在绳孔内，阻尼套由聚四氟乙烯制成，阻尼套中心开通孔，籽晶绳穿出通孔。

本实用新型带有阻尼套的单晶晶体生长炉中的阻尼套由聚四氟乙烯制成，不会磨坏价格昂贵的籽晶绳，提高了籽晶绳的使用寿命；另外，在硅单晶生长作业过程中，阻尼套可降低籽晶对中难度，减少籽晶绳的摆动，提高晶棒的精度，解决了晶棒扭曲现象，提高了产品质量。

附图说明

图1为本实用新型带有阻尼套的单晶晶体生长炉结构示意图。

图中：1籽晶腔体、2绳轮、3籽晶绳、4阻尼套、5绳孔。

具体实施方式

下面结合具体实施例，进一步阐述本实用新型。应理解，这些实施例仅用于说明本实用新型而不用于限制本实用新型的范围。此外应理解，在阅读了本实用新型表述的内容之后，本领域技术人员可以对本实用新型作各种改动或修改，这些等价形式同样落于本申请所附权利要求书所限定的范围。

实施例1

如图1所示，一种带有阻尼套的单晶晶体生长炉，包括安装在籽晶腔体1内的绳轮2，绳轮2表面开有绳槽，籽晶绳3绕在绳轮2上卡在绳槽内，籽晶腔体1底部开有绳孔5，该单晶晶体生长炉还包括阻尼套4，所述的阻尼套4 安装在绳孔5内，阻尼套4由聚四氟乙烯制成，阻尼套4中心开通孔，籽晶绳3穿出通孔。

为了方便安装，在本实施例中，所述的阻尼套4外壁设有螺纹，旋在绳孔5内；阻尼套4共有两层，顶层直径较大，底层直径较小，方便工具伸入安装调试。