[实用新型]带有压轮机构的单晶晶体生长炉

说明书

技术领域

本实用新型涉及单晶炉领域，尤其涉及一种单晶晶体生长炉。

背景技术

单晶晶体生长炉是多晶硅转化为单晶硅工艺过程中的必备设备，而单晶硅又是光伏发电和半导体行业中的基础原料。单晶硅作为现代信息社会的关键支撑材料，是目前世界上最重要的单晶材料之一，它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料，也是光伏发电利用太阳能的主要功能材料。

现有的单晶晶体生长炉中，籽晶绳绕在绳轮上的绳槽中，在硅单晶炉调试或拉制过程中，籽晶绳上下移动时很容易脱离绳槽，导致籽晶绳错位、损坏、晶棒下沉等现象，影响了籽晶绳的传动精度。

发明内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种带有压轮机构的单晶晶体生长炉，利用压轮压住籽晶绳，保证传动精度。

本实用新型是这样实现的：一种带有压轮机构的单晶晶体生长炉，包括安装在籽晶腔体内的绳轮，绳轮表面开有绳槽，籽晶绳绕在绳轮上卡在绳槽内，该生长炉还包括压轮安装板、弹簧、压轮轴、压轮座和压轮，所述的压轮座固定安装在籽晶腔体内，压轮安装板铰接在压轮座上，压轮通过压轮轴安装在压轮安装板上，压轮安装板上设置有弹性机构，弹性机构通过压轮安装板将压轮表面贴合在绳轮表面，限位籽晶绳。

所述的弹性机构为压缩弹簧，所述的压轮安装板正面朝向绳轮，压轮安装板背面与籽晶腔体之间设置有压缩弹簧。

所述的弹性机构为复位弹簧，所述的复位弹簧设置在压轮安装板与压轮座的连接轴上。

本实用新型带有压轮机构的单晶晶体生长炉在单晶炉作业过程中通过压轮压住籽晶绳，使籽晶绳不会滑出绳轮上的绳槽，提高了传动精度，保证了籽晶绳平稳、均匀的运动，具有推广应用的价值。

附图说明

图1为本实用新型带有压轮机构的单晶晶体生长炉实施例1的结构示意图。

图中：1籽晶腔体、2压轮安装板、3弹簧、4压轮轴、5压轮座、6籽晶绳、7绳轮、8压轮。

具体实施方式

下面结合具体实施例，进一步阐述本实用新型。应理解，这些实施例仅用于说明本实用新型而不用于限制本实用新型的范围。此外应理解，在阅读了本实用新型表述的内容之后，本领域技术人员可以对本实用新型作各种改动或修改，这些等价形式同样落于本申请所附权利要求书所限定的范围。

实施例1

如图1所示，一种带有压轮机构的单晶晶体生长炉，包括安装在籽晶腔体1内的绳轮7，绳轮7表面开有绳槽，籽晶绳6绕在绳轮7上卡在绳槽内，该生长炉还包括压轮安装板2、弹簧3、压轮轴4、压轮座5和压轮8，所述的压轮座5固定安装在籽晶腔体1内，压轮安装板2铰接在压轮座5上，压轮8通过压轮轴4安装在压轮安装板2上，压轮安装板2上设置有弹性机构，弹性机构通过压轮安装板2将压轮8表面贴合在绳轮7表面，限位籽晶绳6。

工作时，绳轮7转动，带动籽晶绳6上下移动，压轮8同时转动并压紧籽晶绳6，保证籽晶绳6不脱离绳轮7的绳槽。

在本实施例中，所述的弹性机构为压缩弹簧3，所述的压轮安装板2正面朝向绳轮7，压轮安装板2背面与籽晶腔体1之间设置有压缩弹簧3。

实施例2

一种带有压轮机构的单晶晶体生长炉，实施例2和实施例1的区别在于，所述的弹性机构为复位弹簧，所述的复位弹簧设置在压轮安装板2与压轮座5的连接轴上。