[实用新型]多晶硅铸锭炉保温桶升降装置有效
申请号: | 201120086504.1 | 申请日: | 2011-03-29 |
公开(公告)号: | CN202039161U | 公开(公告)日: | 2011-11-16 |
发明(设计)人: | 刘振广 | 申请(专利权)人: | 宁夏日晶新能源装备股份有限公司 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 上海科琪专利代理有限责任公司 31117 | 代理人: | 伍贤喆;朱丽琴 |
地址: | 753000 宁夏回族*** | 国省代码: | 宁夏;64 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 多晶 铸锭 保温桶 升降 装置 | ||
技术领域
本实用新型涉及晶体硅生长领域,尤其涉及一种多晶硅铸锭炉部件。
背景技术
多晶硅铸锭炉是生产太阳能光伏发电领域内所用单晶硅的重要生产设备。该设备将多晶硅碎块料、头尾料、埚底料、各种单晶废片等材料装入炉内化料的石英坩埚内,经融化、重新定向结晶及退火等工艺,铸成生产太阳电池的前道原料----多晶硅硅锭。
在多晶硅铸锭炉中工艺的调节是通过保温桶的升降来实现的,控制保温桶与底保温层之间的开度调节散热,来满足铸锭的工艺需求;所以为了能平稳的控制保温桶的升降,现有技术中采用三个成三角形排列的独立伺服马达分别连接保温桶,以保证保温桶升降时不会倾斜,平稳动作,但是三个伺服马达的独立控制,难以实现同步性,而且结构复杂,成本相对较高。
发明内容
本实用新型所要解决的技术问题是提供一种多晶硅铸锭炉保温桶升降装置,通过软轴和齿轮转向箱将三根保温桶连杆连接起来,实现了联动,保证了保温桶升降过程中运行平稳。
本实用新型是这样实现的:一种多晶硅铸锭炉保温桶升降装置,包括伺服马达、线性组模和保温桶连杆,所述的线性组模共有三组成三角形排列,每个线性组模上都装有一个齿轮转向箱,三个齿轮转向箱通过联轴器和软轴连为一体,其中一个齿轮转向箱的输入端通过联轴器与伺服马达相连,保温桶连杆共有三根,分别安装在三组线性组模的输出端。
所述的伺服马达安装在端部的齿轮转向箱上。
本实用新型多晶硅铸锭炉保温桶升降装置由一个伺服马达带动,采用轴和齿轮转向箱将三根保温桶连杆连接起来,保证了三根保温桶连杆升降运动的同步性,结构简单,使得保温桶的升降过程更加平稳。
附图说明
图1为本实用新型多晶硅铸锭炉保温桶升降装置立体结构示意图;
图2为本实用新型俯视示意图。
图中:1伺服马达、2齿轮转向箱、3联轴器、4软轴、5线性组模、6保温桶连杆。
具体实施方式
下面结合具体实施例,进一步阐述本实用新型。应理解,这些实施例仅用于说明本实用新型而不用于限制本实用新型的范围。此外应理解,在阅读了本实用新型表述的内容之后,本领域技术人员可以对本实用新型作各种改动或修改,这些等价形式同样落于本申请所附权利要求书所限定的范围。
实施例1
如图1、2所示,一种多晶硅铸锭炉保温桶升降装置,包括伺服马达1、线性组模5和保温桶连杆6,所述的线性组模5共有三组成三角形排列,每个线性组模5上都装有一个齿轮转向箱2,三个齿轮转向箱2通过联轴器3和软轴4连为一体,其中一个齿轮转向箱2的输入端通过联轴器3与伺服马达1相连,保温桶连杆6共有三根,分别安装在三组线性组模5的输出端。
本实用新型中的伺服马达可以安装在任意一个齿轮转向箱2上,在本实施例中,为了安装方便,所述的伺服马达1安装在位于两侧端部的一个齿轮转向箱2上。
线性模组5是直线导轨和滚珠丝杆的组合体,直线导轨用于导向,滚珠丝杆用于传递运动,将旋转运动转化为直线运动;工作时,伺服马达1旋转,带动齿轮转向箱2转动,齿轮转向箱2的输出,带动线性模组5输出端上的滑块升降,从而带动与保温桶连接的三根保温桶连杆6同步升降,最终实现保温桶的升降。
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