[实用新型]一种多晶硅棒研磨机

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种多晶硅研磨设备，具体涉及一种多晶硅棒研磨机。

背景技术

多晶硅棒研磨机是利用压嵌在研具上的磨料颗粒，通过电动机带动砂轮高速旋转并与工件在一定压力下相对运动，对硅棒的加工表面进行精加工，去除因切方机钢线给力不足造成的硅棒表面线痕，达到生产工艺需要。目前现有的多晶研磨机价格比较昂贵，而相对来说普通机械研磨机价格比较便宜，但是普通机械研磨机不能对大规格的晶棒平磨，使得对多晶硅棒进行研磨成本较高。

发明内容

本实用新型的目的是为了克服现有技术的不足，提供一种多晶硅棒研磨机。

本实用新型采用的技术方案是：一种多晶硅棒研磨机，包括平面吸盘、晶棒夹具和树脂砂轮，所述平面吸盘的上、下两边各安装有所述晶棒夹具，晶棒夹具的侧方设置有所述树脂砂轮。

本实用新型通过对普通机械研磨机轻微的改动，把原粗砂轮改为树脂砂轮，吸盘加装晶棒夹具，即可让其实现多晶研磨机的功能。

使用时在平面吸盘两边加装晶棒夹具，晶棒放在平面吸盘上通过夹具上的固定装置固定晶棒，再启动砂轮对晶棒加工面进行精整加工。

有益效果：本实用新型通过对普通机械研磨机机械结构的改进，使其可以对大规格的晶棒进行平磨，并达到产品质量要求，而且安全系数提高、操作更方便，大大降低了产品成本。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为图1的侧视图。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步说明：

如图1和2所示：一种多晶硅棒研磨机，包括平面吸盘1、晶棒夹具2和树脂砂轮，所述平面吸盘1的上、下两边各安装有所述晶棒夹具2，晶棒夹具2的侧方设置有所述树脂砂轮。