[实用新型]多晶硅铸锭炉热场护套结构有效
申请号: | 201120094156.2 | 申请日: | 2011-04-01 |
公开(公告)号: | CN202054927U | 公开(公告)日: | 2011-11-30 |
发明(设计)人: | 龙礼妹 | 申请(专利权)人: | 石金精密科技(深圳)有限公司 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人: | 胡海国 |
地址: | 518000 广东省深圳市宝安区*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 多晶 铸锭 炉热场 护套 结构 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种多晶硅铸锭炉热场领域,尤其涉及一种多晶硅铸锭炉热场护套结构。
背景技术
目前,在多晶硅铸锭炉热场中,通过吊杆将加热器固定于保温碳毡上,并在吊杆顶部与保温碳毡之间设有吊杆护套,同时,在加热器的电极与保温碳毡之间设有电极护套。
现有的吊杆护套由于结构上的限制,使得设置在热场顶部保温碳毡上的吊杆孔过大,导致热场保温效果不好,而且吊杆在吊杆孔内易晃动;现有的电极护套通常由两个半圆筒及两个半圆环构成,两个半圆筒之间以及两个半圆环之间均采用平面对接的方式连接,这种对接方式容易在连接接头处淤积灰尘,造成漏电,影响护套的绝缘性。而且,现有的吊杆护套和电极护套均采用陶瓷材料制成,而陶瓷材料在高温环境下使用时间过长后,容易在其表面烧成一层灰尘,同样造成漏电,影响护套的绝缘性。
实用新型内容
本实用新型的主要目的在于提供一种保温及绝缘效果好的多晶硅铸锭炉热场护套结构。
为了达到上述目的,本实用新型提出一种多晶硅铸锭炉热场护套结构,包括热场箱以及设置在所述热场箱内的加热器,热场箱顶部保温碳毡上设有吊杆孔及电极孔,一吊杆穿过所述吊杆孔将加热器固定在保温碳毡上,穿套在所述电极孔上的电极与所述加热器导电连接,所述吊杆与保温碳毡之间设有T型吊杆护套;所述电极与保温碳毡之间设有倒T型电极护套。
优选地,所述吊杆护套为氮化硼材料制成,其上部为圆环形,悬挂于所述吊杆孔外的保温碳毡上,其下部为圆筒形,下部内壁与所述吊杆外壁紧密接触,下部外壁与吊杆孔内壁紧密接触。
优选地,所述电极护套为氮化硼材料制成,其上部为一圆筒,下部为一圆环形垫圈,所述圆筒内壁与电极外壁紧密接触,圆筒外壁与所述电极孔内壁紧密接触;所述垫圈位于所述电极孔外保温碳毡下方。
优选地,所述圆筒由两个半圆筒扣合而成,该两个半圆筒的扣合面分别设有相互扣合的第一卡扣,通过所述第一卡扣将两个半圆筒扣接。
优选地,所述垫圈由两个半圆环扣合而成,该两个半圆环的扣合面分别设有相互扣合的第二卡扣,通过所述第二卡扣将两个半圆环扣接。
优选地,所述吊杆为T型,所述吊杆的顶部悬挂于吊杆孔外保温碳毡上方,其下部延伸至穿过所述加热器,并通过与螺母的配合将所述加热器固定于保温碳毡上。
本实用新型提出的一种多晶硅铸锭炉热场护套结构,将吊杆护套设计成T型,套设在吊杆孔内,并分别与吊杆孔内壁及吊杆外壁紧密接触,提高了吊杆护套的保温效果;同时,将构成电极护套的两个半圆筒及两个半圆环之间采用卡扣连接方式,避免了在相应的连接接头淤积灰尘造成漏电的缺陷;而且,吊杆护套和电极护套均采用氮化硼材料制成,更适合在高温环境下使用,避免烧出灰尘的现象。
附图说明
图1是现有的多晶硅铸锭炉热场内吊杆护套的安装结构示意图;
图2是现有的多晶硅铸锭炉热场内电极护套中圆筒的结构示意图;
图3是现有的多晶硅铸锭炉热场内电极护套中垫圈的结构示意图;
图4是本实用新型多晶硅铸锭炉热场护套结构一实施例的结构示意图;
图5是上述实施例中电极护套的圆筒结构示意图;
图6是上述实施例中电极护套的垫圈结构示意图。
为了使本实用新型的技术方案更加清楚、明了,下面将结合附图作进一步详述。
具体实施方式
本实用新型技术方案总体思路是:将吊杆护套设计成T型,套设在吊杆孔内,并分别与吊杆孔内壁及吊杆外壁紧密接触,以提高吊杆护套的保温效果;同时,将构成电极护套的两个半圆筒及两个半圆环之间采用卡扣连接方式,避免在连接接头产生灰尘。
以下将结合附图及实施例,对实现实用新型目的的技术方案作详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型,并不用于限定本实用新型。
如图1所示,图1是现有的多晶硅铸锭炉热场内吊杆护套的安装结构示意图。现有的多晶硅铸锭炉热场中,通过吊杆2将加热器4固定于热场顶部的保温碳毡3上,吊杆护套1为设置在吊杆2与保温碳毡3表面之间的圆环形垫圈,而且吊杆孔较大,导致吊杆2容易在吊杆孔内晃动,其保温效果不佳。
如图2及图3所示,图2是现有的多晶硅铸锭炉热场内电极护套中圆筒的结构示意图,图3是现有的多晶硅铸锭炉热场内电极护套中垫圈的结构示意图。现有的电极护套中,两个半圆筒5的接口51之间以及两个半圆环6的接口61之间的连接方式均采用平面对接的方式,由此,造成连接接头中容易淤积灰尘,造成漏电,影响电极护套的绝缘性。
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