[实用新型]一种氢气循环干燥硅粉的装置有效
申请号: | 201120096451.1 | 申请日: | 2011-04-06 |
公开(公告)号: | CN202046888U | 公开(公告)日: | 2011-11-23 |
发明(设计)人: | 刘岗;周大荣;孙建荣;蒋敏;孙兵 | 申请(专利权)人: | 连云港中彩科技有限公司 |
主分类号: | C01B33/021 | 分类号: | C01B33/021 |
代理公司: | 南京众联专利代理有限公司 32206 | 代理人: | 王彦明 |
地址: | 222000 江苏省连*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 氢气 循环 干燥 装置 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种多晶硅、单晶硅的生产技术,特别是一种氢气循环干燥硅粉的装置。
背景技术
现有技术中的硅粉除水工艺中,先用大于100℃的氮气通入干燥塔内,由于温度超过水的沸点,所以干燥塔内硅粉中的水被气化,水蒸汽随着氮气被带走,一般每小时要耗掉50m3的氮气,干燥结束后,还需要用氢气去置换硅粉中的氮气,置换出的氮气及部分氢气都被直接排放了,造成了很大的浪费。
发明内容
本实用新型要解决的技术问题是针对现有技术的不足,提出了一种节能环保的氢气循环干燥硅粉的装置。
本实用新型要解决的技术问题是通过以下技术方案来实现的,一种氢气循环干燥硅粉的装置,其特点是:设有干燥塔,在干燥塔的底部通过管路与氢气加热室相通,干燥塔的顶部通过管路与分子筛脱水装置相接,干燥塔至分子筛脱水装置之间的管路上依次装有过滤器和冷却器,分子筛脱水装置的出气端通过管路与压缩机相接,压缩机通过管路与氢气加热室相接。
本实用新型在一个密闭的循环管路中,氢气先被压缩后进行加热室加热后进入干燥塔内对硅粉进行干燥处理,硅粉内的水分被蒸发,被氢气带走,带有水蒸汽的氢气经过冷却后,水蒸汽凝结为水,经过分子筛脱水后的氢气进入压缩机循环。与现有技术相比,本实用新型的氢气循环利用,效率高,节能环保。
附图说明
图1为本实用新型的结构简图。
具体实施方式
一种氢气循环干燥硅粉的装置,设有干燥塔2,在干燥塔2的底部通过管路与氢气加热室1相通,干燥塔2的顶部通过管路与分子筛脱水装置5相接,干燥塔2至分子筛脱水装置5之间的管路上依次装有过滤器3和冷却器4,分子筛脱水装置5的出气端通过管路与压缩机6相接,压缩机6通过管路与氢气加热室1相接。分子筛脱水装置5由竖向设置的三个脱水柱构成,三个脱水柱交替使用,可实现不停机运转,一个在循环脱水使用中,一个处于再生阶段,第三个再生后处于冷却中。氢气加热室1采用壳程间接加热方式,可使用导热油作为加热介质,氢气加热后的温度为150~200℃。
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