[实用新型]组合式陶瓷基片研磨夹具

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种磨具，特别涉及一种对陶瓷基片表面进行研磨的磨具。

背景技术

现代微电子技术发展异常迅猛，特别是各种光电子器件逐渐在向微型化、大规模集成化、高效率、高可靠性等方向发展。但随着电子系统集成度的提高，其功率密度随之增加，电子元件及系统整体工作产生热量上升、系统工作温度升高会引起半导体器件性能恶化、器件破坏、分层等，甚至使芯片烧毁，因此有效的电子封装必须解决电子系统的散热问题。

电子封装所用的基片是一种底座电子元件，主要为电子元器件及其相互联线提供机械承载支撑、气密性保护并可作为热沉过渡片给芯片散热。陶瓷基片具有绝缘性好、可靠性高、介电系数小、高频性好、机械强度高、热膨胀系数小、热导率高、密性好、化学性能稳定等优点，并可对光电子器件起到较强的保护作用，因而在航空、航天和军事工程等领域都得到了非常广泛的应用。

在电子器件进行封装时，需要对陶瓷基片的表面进行研磨，而目前陶瓷基片在研磨过程中没有相应的夹具，因此一般只能一片一片的进行研磨，研磨速度非常的慢、生产效率很低，而且在研磨过程中，很难保证每个陶瓷基片的尺寸完全一致，这样就有可能对芯片的后续封装造成影响，进行影响整个芯片的质量。

实用新型内容

针对上述现有技术的不足，本实用新型要解决的技术问题是提供一种结构简单，能同时对多个陶瓷基片进行研磨的夹具。

为解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案：

一种组合式陶瓷基片研磨夹具，其包括数个夹板，所述数个夹板通过螺栓连接成一整体夹块，所述相邻两个夹板之间形成数个可卡住陶瓷基片的卡槽。

优选的，所述整体夹块的一个侧面为斜面。

优选的，所述卡槽位于所述夹板的表面上。

优选的，所述卡槽内设有防护套。

上述技术方案具有如下有益效果：该组合式陶瓷基片研磨夹具在使用时，先将连接各夹板的螺栓松开，在夹板之间的卡槽内装入陶瓷基片，再通过螺栓将各夹板连接起来使陶瓷基片被夹紧，然后就可将该组合式陶瓷基片研磨夹具放在研磨机内进行研磨。采用该组合式陶瓷基片研磨夹具一次可同时对多个陶瓷基片进行研磨，从而可有效提高陶瓷基片研磨的速度，提高工作效率，缩短批量陶瓷基片的研磨时间。而且采用这种结构的夹具对陶瓷片进行研磨，可保证研磨后陶瓷基片的尺寸完全一致，使芯片后续封装保持完全一致，进而保证芯片的质量。该组合式陶瓷基片研磨夹具还具有机构简单、使用方便、制造成本低、易于实现等优点。

上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本实用新型的较佳实施例并配合附图详细说明如后。本实用新型的具体实施方式由以下实施例及其附图详细给出。

附图说明

图1为本实用新型实施例的主视图。

图2为本实用新型实施例的侧视图。

图3为本实用新型实施例中夹板的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的优选实施例进行详细介绍。

如图1、2所示，该组合式陶瓷基片研磨夹具包括数个夹板2，数个夹板2通过螺栓3连接成一整体夹块1，相邻两个夹板2之间形成数个可卡住陶瓷基片的卡槽4。整体夹块1的一个侧面为斜面，相应的夹板2的一个侧面也应该为斜面，且数个夹板的斜面斜度应保持一致。如图3所示，卡槽4位于夹板2的表面上，夹板2的中央设有螺栓孔5，螺栓3穿过各夹板的螺栓孔5将数个夹板2连接起来。

该组合式陶瓷基片研磨夹具在使用时，先将连接各夹板2的螺栓3松开，在夹板2之间的卡槽4内装入陶瓷基片，再通过螺栓3将各夹板2连接起来使陶瓷基片被夹紧，为防止陶瓷基片被夹坏，可在卡槽4内设置防护套，然后就可将该组合式陶瓷基片研磨夹具放在研磨机内进行研磨。在实际的研磨过程中，有时需要在陶瓷基片研磨一定角度的斜边，此时可以整体夹块1的斜面为基准进行研磨，这样就可在陶瓷基片上研磨出相应的斜边，并且可保证各陶瓷基片的斜边倾斜角度完全一致。

采用该结构的研磨夹具一次可同时对多个陶瓷基片进行研磨，从而可有效提高陶瓷基片研磨的速度，提高工作效率，缩短批量陶瓷基片的研磨时间。而且采用这种结构的夹具对陶瓷片进行研磨，可保证研磨后陶瓷基片的尺寸完全一致，使芯片后续封装保持完全一致，进而保证芯片的质量。该组合式陶瓷基片研磨夹具还具有机构简单、使用方便、制造成本低、易于实现等优点。

以上对本实用新型实施例所提供的一种组合式陶瓷基片研磨夹具进行了详细介绍，对于本领域的一般技术人员，依据本实用新型实施例的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制，凡依本实用新型设计思想所做的任何改变都在本实用新型的保护范围之内。