[实用新型]可调射频电路

说明书

技术领域

本申请涉及一种射频电路，尤其涉及一种可调射频电路。

背景技术

射频电路广泛应用于移动通信、卫星导航、广播、电视等无线传输领域，许多射频电路的工作频率、输出功率、天线模式和输入阻抗等都需要具有可调功能，以适应不同的应用，目前这个功能主要依靠可调电容来实现，传统的固态变容二极管的电容是随着信号功率变化的，在高频和高功率应用中稳定性较差，同时随着无线传输技术的高速发展，尤其是发展最为迅速的移动通信技术，通信设备的操作频率越来越高，需要支持的各种波段的运作(如3G、GSM/GPRS、局部网络、蓝牙)越来越多样化，加上价格和体积的要求，传统的固态变容二极管的电容早已不能满足射频电路对于可调电容的高线性和高稳定性的要求，而射频微机电器件在高频情况下具有很好的稳定性，使得基于微机电技术的可调射频电路成为无线传输技术中的重要部件。

目前基于微机电技术的可调射频电路主要利用可调电容实现工作频率、输出功率、天线模式和输入阻抗等的调节。该技术利用微机电原理来调节电容器件的物理尺寸，实现对电容量的可变性，其中一种方法是间隙微调电容，该方法通过调节平行板之间的垂直距离实现电容量的调节，另一种方法是基于横向驱动的交叉梳状电容，通过改变电容电极板之间的重叠面积实现电容量的调节。间隙微调电容的局限性在于可调范围小于50％，这是由于电容在平行板电极间的距离改变到某种程度时就变成了非线性，改变重叠面积的方法由于横向驱动的交叉梳状电容是采用体加工，加工方式比传统的表面加工更复杂，并且占用面积较大，在手机芯片等集成电路里的应用具有一定限制。

实用新型内容

在下文中给出关于本实用新型的简要概述，以便提供关于本实用新型的某些方面的基本理解。应当理解，这个概述并不是关于本实用新型的穷举性概述。它并不是意图确定本实用新型的关键或重要部分，也不是意图限定本实用新型的范围。其目的仅仅是以简化的形式给出某些概念，以此作为稍后论述的更详细描述的前序。

本实用新型的一个主要目的在于提供一种可调范围大、便于加工的可调射频电路。

根据本实用新型的一个方面，一种可调射频电路，包括：

多个串联连接在两节点之间的电感，各电感具有不同的电感值；及

多个对应与各电感并联连接的微机电开关。

根据本实用新型的一个方面，串联连接在两节点之间的电感从0开始连续以正整数编号，各电感的电感值为2的N次方，其中N为各电感的对应的编号。

根据本实用新型的一个方面，其中多个电感通过金属膜串联连接，并且各微机电开关包括机械件以及镀在机械件上的金属膜，金属膜延伸至对应的电感以与电感相接触。

根据本实用新型的一个方面，机械件包括：

驱动悬臂；

悬臂接触体，与驱动悬臂通过电子隔离体作为机械连结件以形成机械连接体；及

一侧与悬臂接触体的一侧相对的第一电感接触体和第二电感接触体，其中悬臂接触体与第一、第二电感接触体各相对侧均镀有金属膜，镀于第一、第二电感接触体上的金属膜与对应的电感相连接。

根据本实用新型的一个方面，电子隔离体的材料为低应力氮化硅薄膜。

根据本实用新型的一个方面，还包括承载各电感和各微机电开关的承载体，承载体包括衬底、铺设在衬底上的隔离层以及设置在隔离层上的牺牲层。

根据本实用新型的一个方面，各微机电开关和隔离层之间具有空腔。

根据本实用新型的一个方面，电感为螺旋状。

本实用新型通过多个串联连接的电感以及对应控制各电感的微机电开关实现了输出电感的可调性，可用于无线传输设备以调整设备的工作参数，克服了使用微调电容引起的可调范围小的缺陷，可通过表面加工完成，加工方便、结构简单，由于在射频集成电路中，本身预留有较大的面积用于设置电感元件，因此克服了采用变面积微调电容方式的在占用面积上的局限性。

附图说明

参照下面结合附图对本实用新型实施例的说明，会更加容易地理解本实用新型的以上和其它目的、特点和优点。附图中的部件只是为了示出本实用新型的原理。在附图中，相同的或类似的技术特征或部件将采用相同或类似的附图标记来表示。

图1为本实用新型实施例的可调射频电路的原理图。

图2为本实用新型实施例的可调射频电路的一种实现的剖面图。

图3为图2中的微机电开关的结构示意图。

图4A-4D为本实用新型实施例的可调射频电路在制造阶段的工艺状态图。

图5为制造本实用新型实施例的可调射频电路的方法的流程图。

具体实施方式