[实用新型]石英加热缸

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种适用于2英寸-8英寸硅片的规模性清洗的加热设备，属于电子器件清洗和湿刻工艺中加热设备技术领域。

背景技术

现有用于2英寸-8英寸硅片进行湿刻或清洗时通常需要加热，目前采用的加热方法是在一个石英容器的底部通过电炉加热，石英容器内的加热温度不均匀，操作时也不安全，保温效果不好，加热清洗效果不理想。

发明内容

本实用新型针对现有电子器件清洗加热技术存在的不足，提供一种使用安全、加热效果好的石英加热缸。

本实用新型的石英加热缸采用下述技术方案：

该石英加热缸包括塑料外壳、加热带和石英内胆，石英内胆安装在塑料外壳内，加热带附设在石英内胆的整个外壁面上，在塑料外壳与加热带之间设有一层保温层。

本实用新型将加热带设置在塑料外壳和石英内胆之间，不用另外附设绝缘材料，结构简单，加热速度快，加热温度均匀，使用安全，保证了器件清洗时的加热效果。

附图说明

附图是本实用新型石英加热缸的结构示意图。

图中：1、塑料外壳，2、保温层，3、加热带，4、石英内胆。

具体实施方式

如附图所示，本实用新型的石英加热缸包括塑料外壳1、加热带3和石英内胆4，石英内胆4安装在塑料外壳1内，加热带3通过高温胶粘附在石英内胆4的外壁面上，加热带3与外部电源连接。塑料外壳1可以采用PP板材拼接而成。为了保温，在塑料外壳1与加热带3之间设有一层保温层2，保温层2可以采用泡沫塑料等绝缘材料，也可以将加热带3包裹在保温层2内。