[实用新型]一种拉制精密硅棒的防断裂同轴子晶无效

专利信息
申请号: 201120101900.7 申请日: 2011-04-09
公开(公告)号: CN201915168U 公开(公告)日: 2011-08-03
发明(设计)人: 杨静;王桂奋;王迎春;杨瑞祥;张斌;杨健 申请(专利权)人: 金坛正信光伏电子有限公司
主分类号: C30B15/32 分类号: C30B15/32;C30B28/10;C30B29/06
代理公司: 常州市维益专利事务所 32211 代理人: 周祥生
地址: 213251 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 拉制 精密 断裂 轴子
【权利要求书】:

1.一种拉制精密硅棒的防断裂同轴子晶,其特征是:它由定心杆(21)、扭转台阶(22)和旋转拉杆(23)组成,定心杆(21)位于扭转台阶(22)的上方,旋转拉杆(23)位于扭转台阶(22)的下方,定心杆(21)、扭转台阶(22)和旋转拉杆(23)的轴线重合,定心杆(21)的直径与旋转提升杆(1)上的定心孔(11)的直径相对应,两者之间的配合间隙为0.005~0.03毫米,定心杆的高度(A)略小于定心孔的深度(B);扭转台阶(22)的横截面形状和大小与拉晶炉的旋转提升杆(1)上的扭转沉孔(12)相对应,两者之间的配合间隙为0.03~0.10毫米,扭转台阶的高度(C)略大于扭转沉孔的深度(D);旋转拉杆(23)的直径与子晶螺纹套(3)上的子晶孔(32)相对应,两者之间的配合间隙为0.03~0.10毫米。

2.根据权利要求1所述拉制精密硅棒的防断裂同轴子晶,其特征是:扭转台阶(22)的横截面形状为正多边形或切边圆形。

3.根据权利要求2所述拉制精密硅棒的防断裂同轴子晶,其特征是:扭转台阶(22)的横截面形状为正六边形。

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