[实用新型]电路及包含该电路的水冷式硅片切片机

说明书

技术领域

本实用新型涉及用于水冷式硅片切片机的电路，更具体地涉及调节水冷式硅片切片机瞬时水压的电路。本实用新型还涉及包括所述电路的水冷式硅片切片机。 

背景技术

随着全球各国绿色能源的推广和近年来半导体产业的超常规发展，硅片市场的供给已极度不平衡，切割加工能力的落后和产能的严重地制约了产业的发展。近年来出现的新型硅片多丝切割技术现已是硅片(晶圆)上游生产的关键技术，具有切割表面质量高、切割效率高和可切割大尺寸材料、方便后续加工等特点。 

目前用于工业应用的主流多线切割设备包括瑞士HCT的B5型切片机、梅耶博格(Meyer Burger)的DS264/271型切片机和日本NTC的MWM442D型切片机。这些设备均采用可编程控制器(PLC)作为控制部件，用于集中控制处理设备上的模拟量信号和数字量信号。 

上述切片机均采用冷却水对设备进行冷却，不同的设备对冷却水压力有不同的要求，例如，DS271/1型切片机对冷却水的要求是进水水压在2～5bar之间，与出水管道的压差不得低于1.5bar。进水水压过高或过低均会导致设备停机。但是供水系统水压有时会发生瞬时波动，例如供水系统电源切换时，水压通常会发生数秒钟的瞬时波动。该数秒钟的瞬时水压波动通常不会对切片机的运行产生不利的影响，但是当压力传感器将该水压的瞬时波动信号输送至切片机软件控制系统后，控制系统会误认为冷却水水压过低，会立即输出停机信号而导致设备停机。 

实用新型内容

因此在实际生产中，需要一种用于处理瞬时波动水压信号装置，防 止因瞬时水压波动导致设备停机，妨碍正常生产。 

本实用新型提供了一种处理瞬时波动水压信号的电路，该电路安装在切片机压力传感器和控制系统之间，属于硬件控制，不改变原来设备的软件控制系统，只是将原来的报警信号经过适当的处理再输出输入到控制系统。 

本实用新型的电路可使用任何时间继电器，包括通电延时继电器和断电延时继电器。本实用新型任选可在压力传感器和时间继电器间连接使用中间继电器，其中，压力传感器的输出端与中间继电器的线圈相连，中间继电器的常闭触点与通电延时继电器线圈输入端相连，通电延时继电器输出端与设备原压力信号线相连。具体地，延时继电器的延时时间设置为5～60秒。 

在使用断电延时继电器时，由于可不使用中间继电器，减小了电路规模，避免电路出现故障的几率，因此本实用新型优选使用断电延时继电器。 

在生产实践中，供水系统水压瞬时波动时间通常在数秒至数十秒钟之内，例如1～60秒、1～40秒、1～20秒、1～10秒、1～5秒、1～4秒、1～3秒和1～2秒，如此短暂的波动并不会对设备产生不利的影响。因此作为一种改进，本实用新型优选使用精度为秒级的时间继电器，该时间继电器的预先设定的延时时间通常根据实际的水压波动情况设置，例如1～60秒、1～40秒、1～20秒、1～10秒、1～5秒、1～4秒、1～3秒和1～2秒，优选为设置在5～10秒，更优选为5秒。 

在本实用新型中所述的水冷式硅片切片机是指任何使用循环水进行冷却的硅片切片机，这类切片机均可使用本实用新型所述的电路来防止水压瞬时波动造成的停机。这类水冷式硅片切片机包括，但不限于：梅耶博格公司DS264型切片机、梅耶博格公司DS271型切片机和应用材料公司HCT-B5型切片机。 

附图说明

通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本发明的其它特征、目的和优点将会变得更加明显： 

图1是本实用新型电路的流程图； 

图2是本实用新型使用了断电延时继电器的电路图； 

图3是本实用新型使用了通电延时继电器的电路图。 

具体实施方式