[实用新型]水压报警装置及包含其的水冷式硅片切片机

说明书

技术领域

本实用新型涉及用于水冷式硅片切片机的水压报警装置，更具体地涉及分段显示水冷式硅片切片机进水水压的报警装置。本实用新型还涉及包括所述水压报警装置的水冷式硅片切片机。 

背景技术

随着全球各国绿色能源的推广和近年来半导体产业的超常规发展，硅片市场的供给已极度不平衡，切割加工能力的落后和产能的严重地制约了产业的发展。近年来出现的新型硅片多丝切割技术现已是硅片(晶圆)上游生产的关键技术，具有切割表面质量高、切割效率高和可切割大尺寸材料、方便后续加工等特点。 

目前，市场上常见的水冷式硅片切片机的设备控制系统设计只在进水管路上加装机械式压力表，进水压力没有得到有效报警监控，过滤器没有能及时清洗，导致设备常常切割中途因为过滤网堵塞停机。 

实用新型内容

因此在实际生产中，需要一种用于水压报警装置来监控切片机进水水压，防止因未及时清洗过滤网而导致设备停机，妨碍正常生产。 

本实用新型提供的水压报警装置，包括水压检测单元、比较单元和报警单元，属于硬件控制，只是对切片机进水水压进行检测，不改变原来设备的软件控制系统。 

本实用新型提供的水压报警装置的水压检测单元安装在进水管路上，用于检测水压并输出水压检测信号；比较单元预先设定第一阈值和第二阈值，其将水压检测信号与此第一阈值和第二阈值进行比较，生成对应的控制信号并输出，所述第一阈值和第二阈值分别对应于切片机的最大进水水压和最小进水水压；控制信号再输出送入到报警单元而显示水压状况。 

在本实用新型一个实施方式中，报警单元可以为本领域中任何常用的报警单元，例如其可以包括三色报警灯及蜂鸣器，通过不同的颜色来显示进水压力情况，例如，绿色：水压正常；黄色：水压下降，提示切割完成需清洗过滤网；红色+蜂鸣：水压低，过滤网堵塞，需清洗。 

在本实用新型一个实施方式中，所述水压检测单元和比较单元包括在电接点压力表中，电接点压力表的信号上限输出端与第一中间继电器线圈相连，所述电接点压力表的信号下限输出端与第二中间继电器线圈相连，第一和第二中间继电器的输出端与三色报警灯的输入端相连。 

作为本实用新型的改进，可在电接点压力表的信号上限输出端与第一中间继电器线圈之间连接第一时间继电器，在电接点压力表的信号下限输出端与第二中间继电器线圈之间连接有第二时间继电器，如此可防止进水水压接近最大或最小水压时，由于水压波动而造成报警灯闪烁。该时间继电器通常会根据现场水压的波动情况设定一个延时时间，例如1～60秒、1～40秒、1～20秒、1～10秒、1～5秒、1～4秒、1～3秒和1～2秒。当水压在接近最大或最小水压时，如果水压持续偏离最大或最小水压超过时间继电器预先设定的时间，则会输出该水压检测信号，否则不会输出，从而消除了报警灯闪烁的问题。 

由于水压波动通常为短时间波动，一般在数秒至数十秒之间，因此作为本实用新型的又一改进，本实用新型优选采用精度为秒级的时间继电器。 

作为本实用新型的另一改进，本实用新型所采用的电接点压力表的最大量程为冷却水最高压力的1.1～1.8倍，优选为1.2～1.5倍。电接点压力表量程过小会造成超出测量范围，损坏电接点压力表；过大造成水压测量不精确，报警装置反应不灵敏。 

在本实用新型另一实施方式中，水压检测单元为压力传感器，比较单元为模拟量模块，模拟量模块的输入端与压力传感器输出端相连，模拟量模块与可编程控制器(PLC)相连，可编程控制器(PLC)的输出点与所述三色报警灯的输入端相连。 

在本实用新型中所述的水冷式硅片切片机是指任何使用循环水进行冷却的硅片切片机，这类切片机均可使用本实用新型所述的电路来防止过滤网未及时清洗而导致水压过低造成的停机。这类水冷式硅片切片机包括， 但不限于：梅耶博格公司DS264型切片机、梅耶博格公司DS271型切片机和应用材料公司HCT-B5型切片机。 

附图说明

通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本发明的其它特征、目的和优点将会变得更加明显： 

图1是本实用新型报警装置的流程图； 

图2是本实用新型利用电接点压力表的报警装置的电路图； 

图3是本实用新型利用电接点压力表的报警装置的电路图，其中还使用了时间继电器； 

图4是本实用新型利用可编程控制器(PLC)的报警装置的电路图。 

具体实施方式