[实用新型]一种双谐振腔结构的太赫兹波偏振分束器

权利要求书

1.一种双谐振腔结构的太赫兹波偏振分束器，其特征在于包括输入端口（1）、第一输出端口（2）、第二输出端口（3）、平板偏振器（4）、孔状镂空（5）、第一孔状镂空阵列（6）、第二孔状镂空阵列（7）、第三孔状镂空阵列（8）、第四孔状镂空阵列（9）、第五孔状镂空阵列（10）；平板偏振器（4）上、下侧横向分别设有第四孔状镂空阵列（9）和第五孔状镂空阵列（10），在第四孔状镂空阵列（9）和第五孔状镂空阵列（10）之间的中心纵向设有第一孔状镂空阵列（6），在第四孔状镂空阵列（9）和第五孔状镂空阵列（10）之间的中心左侧横向设有第二孔状镂空阵列（7），在第五孔状镂空阵列（10）上右侧横向设有第三孔状镂空阵列（8），第四孔状镂空阵列（9）和第五孔状镂空阵列（10）均由5×N个孔状镂空（5）组成，第三孔状镂空阵列（8）由5×N个孔状镂空（5）组成，第二孔状镂空阵列（7）由3×N个孔状镂空（5）组成，第一孔状镂空阵列（6）由7×3个孔状镂空（5）组成；第四孔状镂空阵列（9）与第二孔状镂空阵列（7）之间的左侧设有输入端口（1），第五孔状镂空阵列（10）与第二孔状镂空阵列（7）之间的左侧设有第一输出端口（2），第四孔状镂空阵列（9）与第三孔状镂空阵列（8）之间的右侧设有第二输出端口（3），第一孔状镂空阵列（6）与第二孔状镂空阵列（7）的距离和第一孔状镂空阵列（6）与第三孔状镂空阵列（8）距离相等；第一孔状镂空阵列（6）和第二孔状镂空阵列（7）之间以及第二孔状镂空阵列（7）和第三孔状镂空阵列（8）之间各形成一个谐振腔。

2.根据权利要求1所述的一种双谐振腔结构的太赫兹波偏振分束器，其特征在于所述的相邻孔状镂空（5）间距为15~60μm。

3.根据权利要求1所述的一种双谐振腔结构的太赫兹波偏振分束器，其特征在于所述的孔状镂空（5）半径为3~18μm。

4.根据权利要求1所述的一种双谐振腔结构的太赫兹波偏振分束器，其特征在于所述的第一孔状镂空阵列（6）与第二孔状镂空阵列（7）的距离和第一孔状镂空阵列（6）与第三孔状镂空阵列（8）距离均为140~500μm。

5.根据权利要求1所述的一种双谐振腔结构的太赫兹波偏振分束器，其特征在于所述的平板偏振器（4）的材料为砷化镓。