[实用新型]一种超薄料磨削加工用沟槽内冷式真空吸盘

权利要求书

1.一种超薄料磨削加工用沟槽内冷式真空吸盘，其特征在于：包括有吸盘（1）、密闭的冷却液储存容器（2）和真空泵（3），所述的吸盘（1）的上面设有一排沟槽（11），吸盘（1）内部设有内腔（12），内腔（12）与沟槽（11）的底部连通，吸盘（1）的侧部设有与内腔（12）连通的冷却液接口（13）和抽真空接口（14），所述的冷却液储存容器（2）通过冷却液管（4）与冷却液接口（13）连接，所述的真空泵（3）通过真空吸管（5）与抽真空接口（14）连接，冷却液储存容器（2）与真空吸管（5）之间接有冷却液回流管（6）。

2.按照权利要求1所述的一种超薄料磨削加工用沟槽内冷式真空吸盘，其特征在于：所述的吸盘（1）由吸嘴（15）和吸盘座（16）构成，沟槽（11）设置在吸嘴（15）的上面，吸盘（1）下面设有至少一条与沟槽（11）垂直的通孔（17），通孔（17）的上半部分连通各条沟槽（11），通孔（17）的下半部分与内腔（12）连通。

3.按照权利要求2所述的一种超薄料磨削加工用沟槽内冷式真空吸盘，其特征在于：所述的通孔（17）为三条。

4.按照权利要求1或2或3所述的一种超薄料磨削加工用沟槽内冷式真空吸盘，其特征在于：所述的冷却液储存容器（2）的高度是可调的。