[实用新型]单光源双光路并行共焦测量系统无效
| 申请号： | 201120104324.1 | 申请日： | 2011-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN202119408U | 公开（公告）日： | 2012-01-18 |
| 发明（设计）人： | 余晓芬;余卿 | 申请（专利权）人： | 合肥工业大学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 安徽省合肥新安专利代理有限责任公司 34101 | 代理人： | 何梅生 |
| 地址： | 230009 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光源 双光路 并行 测量 系统 | ||
【权利要求书】：
1.单光源双光路并行共焦测量系统，其特征是：
激光光源(1)发射的准直光经第一分光镜(2)分成两路准直光，其中一路准直光在经微透镜阵列(3)分束后，依次经过第二分光镜(4)和第三分光镜(5)照射在透镜(6)上；另一路准直光经依次经第一反射镜(10)和第二反射镜(11)照射在数字微镜器件DMD(12)上，由所述数字微镜器件DMD(12)分束后向第三分光镜(5)反射，并经第三分光镜(5)照射在透镜(6)上；所述透镜(6)的输出光线经物镜组(7)聚焦在工作台(8)上的被测物表面，被测物表面反射光依次经由物镜组(7)、透镜(6)、第三分光镜(5)和第二分光镜(4)构成的反射光路投射在CCD(9)中；所述数字微镜器件DMD(12)和微透镜阵列(3)切换为不同时工作。
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