[实用新型]一种软烘装置

权利要求书

1.一种软烘装置，其特征在于，包括：

处理室，设有入气口；

软烘气体加热器，位于所述处理室外部，并设有出气口，所述出气口连接所述处理室的入气口，输出高于常温的干燥气体。

2.如权利要求1所述的软烘装置，其特征在于，所述处理室的顶部为盖体，，所述盖体中央设有一个或多个排气口。

3.如权利要求2所述的软烘装置，其特征在于，所述盖体为上窄下宽的结构。

4.如权利要求2所述的软烘装置，其特征在于，所述处理室具有一个或多个所述入气口，设于盖体中央排气口的周围。

5.如权利要求4所述的软烘装置，其特征在于，所述软烘气体加热器的出气口连接所述处理室的每个所述入气口。

6.如权利要求1所述的软烘装置，其特征在于，所述处理室的侧壁设有晶片进出口。

7.如权利要求1所述的软烘装置，其特征在于，所述软烘气体加热器包含电加热器、辐射加热器、燃料加热器，水加热器或半导体加热模块一种或多种。

8.如权利要求1所述的软烘装置，其特征在于，所述软烘气体加热器还包括进气口。

9.如权利要求1所述的软烘装置，其特征在于，所述软烘装置还包括加热盘，所述加热盘安装在所述处理室内。

10.如权利要求9所述的软烘装置，其特征在于，所述加热盘配有加热器。