[实用新型]工件清洗装置有效
| 申请号： | 201120112161.1 | 申请日： | 2011-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN202105814U | 公开（公告）日： | 2012-01-11 |
| 发明（设计）人： | 奥野浩志 | 申请（专利权）人： | 昆山恩斯克有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B5/02 |
| 代理公司： | 北京泛诚知识产权代理有限公司 11298 | 代理人： | 陈波;林宇清 |
| 地址： | 215335 江苏省昆*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 工件 清洗 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种工件清洗装置，其特征在于，具有：
工件保持部，用于保持并旋转驱动工件；
多个喷嘴，用于向上述工件保持部旋转轴的径向喷出处理流体；和
清洗室，用于收容上述工件保持部与上述多个喷嘴。
2.根据权利要求1所述的工件清洗装置，其特征在于，
上述多个喷嘴具有：
外侧喷嘴，用于向上述工件的外周面喷出处理流体；和
内侧喷嘴，用于向上述工件的内周面喷出处理流体。
3.根据权利要求1或2所述的工件清洗装置，其特征在于，构成有工件清洗处理管路，在上述工件清洗处理管路中并列设置有多个上述清洗室，且在各清洗室进行的清洗处理是不同的。
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