[实用新型]具有MEMS光阀的显示装置

权利要求书

1.一种具有MEMS光阀的显示装置，包括：

基底；

位于所述基底上的固定光栅、MEMS光阀，所述MEMS光阀用于控制所述固定光栅开启、关闭；

其特征在于，所述基底上设置有卡口；

所述MEMS光阀包括：

可动光栅，设于所述卡口内，且与所述卡口接触时两者电导通；

可动电极、固定电极，所述可动电极的一端与所述可动光栅固定电连接，另一端悬空，所述固定电极位于所述可动电极的一侧或两侧，和所述可动电极形成电容，通过控制所述固定电极与所述可动电极之间的电势差，可控制所述可动电极带动可动光栅在所述卡口内移动，开启和关闭所述固定光栅。

2.如权利要求1所述的具有MEMS光阀的显示装置，其特征在于，所述固定光栅为矩形，具有顶边、底边和两侧边；

所述可动光栅为矩形，具有第一边、第二边、第三边和第四边，所述第一边和第三边相对，所述第二边和第四边相对，第一边对应所述固定光栅的顶边，第三边对应所述固定光栅的底边，第二边和第四边分别对应固定光栅的两侧边；

所述卡口底部固定在基底上，位于所述可动光栅的第一边和第三边的两侧，且所述可动光栅的第一边和第三边设于所述卡口内，在所述卡口内沿第二边和第四边方向移动。

3.如权利要求2所述的具有MEMS光阀的显示装置，其特征在于，所述可动光栅具有多个条状的透光开口，所述固定光栅具有多个条状的透光开口，所述可动光栅以及固定光栅的条状的透光开口与所述第二边平行，所述可动光栅的透光开口宽度及相邻两个透光开口之间的不透光部大于所述固定光栅 的透光开口的宽度。

4.如权利要求2所述的具有MEMS光阀的显示装置，其特征在于，所述固定电极和所述可动电极垂直于基底，且所述固定电极、可动电极的高度和宽度比值大于1.5。

5.如权利要求2所述的具有MEMS光阀的显示装置，其特征在于，所述可动电极和固定电极的数量均为偶数，在所述可动光栅的第二边、第四边对称分布。

6.如权利要求1所述的具有MEMS光阀的显示装置，其特征在于，所述可动电极的悬空端靠近所述固定电极。

7.如权利要求1所述的具有MEMS光阀的显示装置，其特征在于，所述固定光栅为圆形，具有多个扇形的透光开口；所述可动光栅为圆形，具有多个扇形的透光开口；

所述卡口底部固定在基底上，且位于所述可动光栅的圆周边缘，所述圆形的可动光栅可在所述卡口内沿可动光栅的圆周方向旋转；

所述可动电极的一端与所述圆形的可动光栅的圆周边缘固定电连接。

8.如权利要求7所述的具有MEMS光阀的显示装置，其特征在于，所述可动电极和固定电极的数量均为偶数，在所述可动光栅的圆周上均匀对称分布。

9.如权利要求1所述的具有MEMS光阀的显示装置，其特征在于，所述固定光栅为扇形，具有多个条状的透光开口；所述可动光栅为扇形，具有多个条状的透光开口；

所述卡口底部固定在基底上，位于所述扇形的可动光栅的两个圆弧边的两侧，所述扇形的可动光栅可在所述卡口内沿可动光栅的扇形边旋转；

所述可动电极的一端与所述扇形的可动光栅的短圆弧边固定电连接。

10.如权利要求1所述的具有MEMS光阀的显示装置，其特征在于，还包括TFT开关，位于所述基底或固定光栅上，所述卡口、固定电极分别与相应的 TFT开关电连接。

11.如权利要求10所述的具有MEMS光阀的显示装置，其特征在于，所述TFT开关包括：

栅极，源区、漏区，用于电导通源区和漏区的导电沟道，位于所述栅极和导电沟道之间的栅介质层，与所述源区电连接的源电极，与所述漏区电连接的漏电极，电容；所述电容包括第一极板、第二极板以及位于第一极板和第二极板之间的电容介质层；

所述第一极板与所述栅极位于同一层；

所述第二极板与所述源电极和漏电极位于同一层，所述第二极板与源电极或漏电极电连接，所述第二极板与所述固定电极、卡口电连接。

12.如权利要求11所述的具有MEMS光阀的显示装置，其特征在于，所述导电沟道为低掺杂硅层，所述低掺杂硅层和栅介质层之间为高掺杂硅层，所述高掺杂硅层具有开口，开口两侧分别为源区和漏区，所述开口暴露出所述低掺杂硅层。