[实用新型]一种滑轨机构的改进有效
申请号: | 201120116321.X | 申请日: | 2011-04-20 |
公开(公告)号: | CN202119798U | 公开(公告)日: | 2012-01-18 |
发明(设计)人: | 朱磊 | 申请(专利权)人: | 海太半导体(无锡)有限公司 |
主分类号: | G01R1/04 | 分类号: | G01R1/04;G01R31/00 |
代理公司: | 无锡市大为专利商标事务所 32104 | 代理人: | 曹祖良 |
地址: | 214028 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 滑轨 机构 改进 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种老化测试试验中的装载卸载设备,具体是一种在老化测试板进入XY工作台时起限位导向作用的滑轨机构的改进。
背景技术
在半导体行业中,产品零器件都需要进行老化测试,具体如下:老化测试板是用于承载待测试产品的部件,老化测试板首先通过一个滑轨机构进入XY工作台上,滑轨机构起限位导向作用;然后待测试产品通过配套的设备放置到老化测试板上;最后老化测试板连同待测试产品一起送入老化测试设备内,进行老化测试。
但现有的滑轨机构只是通过限位导轨来导向,老化测试板进入时,其边缘直接与限位导轨接触,由于它们二者之间是摩擦接触,存在摩擦力,老化测试板在进入XY工作台的过程中容易出现位置上的偏差,从而影响待检测产品的检测精度,严重时甚至导致设备停机,大大影响设备的工作效率。
发明内容
本实用新型的目的在于克服现有技术中存在的不足,对现有的滑轨机构进行了合理的改进,改进后的滑轨机构可以使老化测试板平顺、稳定、精确地进入XY工作台,确保待检测产品的检测精度,保证设备高效工作。
按照本实用新型提供的技术方案:一种滑轨机构的改进,包括两个滑轨支架,两个滑轨支架对称设置在老化测试板进入通道的两侧,每个滑轨支架上分别安装有一限位滑轨,其特征在于:每个滑轨支架的两端均设置有一个轴承组件;所述轴承组件包括支架、侧轴承和下轴承,支架安装在滑轨支架端部的下部,侧轴承竖直安装在支架上,侧轴承用于对老化测试板的两侧边缘限位,侧轴承表面与限位滑轨的内侧面在同一平面上,下轴承水平安装在支架上,下轴承用于从底部支托住老化测试板。
作为本实用新型的进一步改进,所述侧轴承和下轴承均采用带螺栓轴滚轮轴承。
本实用新型与现有技术相比,优点在于:通过对现有的滑轨机构进行合理改进,即在滑轨支架的两端分别设置轴承组件,可以使老化测试板平顺、稳定、精确地进入XY工作台,确保待检测产品的检测精度,提高了工作效率;整体结构简单且持久耐用,减少了操作人员维修维护的工作量。
附图说明
图1为本实用新型的结构主视图。
图2为图1的俯视图。
图3为图2的后视图。
具体实施方式
下面结合具体附图和实施例对本实用新型作进一步说明。
如图1~图3所示,本实用新型涉及滑轨机构的改进。所述滑轨机构包括两个滑轨支架1,两个滑轨支架1对称设置在老化测试板进入通道的两侧,每个滑轨支架1上分别安装有一限位滑轨2;本实用新型的改进点是在每个滑轨支架1的两端均设置了一个轴承组件;所述轴承组件主要由支架5、侧轴承3和下轴承4组成,支架5安装在滑轨支架1端部的下部,侧轴承3竖直安装在支架5上,侧轴承3用于对老化测试板的两侧边缘限位,侧轴承3表面与限位滑轨2的内侧面在同一平面上,下轴承4水平安装在支架5上,下轴承4用于从底部支托住老化测试板。
在具体应用中,老化测试板进入滑轨机构时,轴承组件中的侧轴承3以滚动的形式对老化测试板的两侧边缘进行限位导向,轴承组件中的下轴承4以滚动的形式支托住老化测试板的底部,从而可以使老化测试板的平顺、稳定、精确地进入到XY工作台上,确保待检测产品的检测精度,保证设备高效工作。
如图1~图3所示,本实用新型中的侧轴承3和下轴承4均采用带螺栓轴滚轮轴承。图示实施例中,滑轨支架1前端的下轴承4采用THK公司的CF6UU轴承,其余的下轴承4以及侧轴承3均采用THK公司的CF4UU轴承。
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