[实用新型]一种滑轨机构的改进有效

专利信息
申请号: 201120116321.X 申请日: 2011-04-20
公开(公告)号: CN202119798U 公开(公告)日: 2012-01-18
发明(设计)人: 朱磊 申请(专利权)人: 海太半导体(无锡)有限公司
主分类号: G01R1/04 分类号: G01R1/04;G01R31/00
代理公司: 无锡市大为专利商标事务所 32104 代理人: 曹祖良
地址: 214028 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 滑轨 机构 改进
【说明书】:

技术领域

本实用新型涉及一种老化测试试验中的装载卸载设备,具体是一种在老化测试板进入XY工作台时起限位导向作用的滑轨机构的改进。 

背景技术

在半导体行业中,产品零器件都需要进行老化测试,具体如下:老化测试板是用于承载待测试产品的部件,老化测试板首先通过一个滑轨机构进入XY工作台上,滑轨机构起限位导向作用;然后待测试产品通过配套的设备放置到老化测试板上;最后老化测试板连同待测试产品一起送入老化测试设备内,进行老化测试。 

但现有的滑轨机构只是通过限位导轨来导向,老化测试板进入时,其边缘直接与限位导轨接触,由于它们二者之间是摩擦接触,存在摩擦力,老化测试板在进入XY工作台的过程中容易出现位置上的偏差,从而影响待检测产品的检测精度,严重时甚至导致设备停机,大大影响设备的工作效率。 

发明内容

本实用新型的目的在于克服现有技术中存在的不足,对现有的滑轨机构进行了合理的改进,改进后的滑轨机构可以使老化测试板平顺、稳定、精确地进入XY工作台,确保待检测产品的检测精度,保证设备高效工作。 

按照本实用新型提供的技术方案:一种滑轨机构的改进,包括两个滑轨支架,两个滑轨支架对称设置在老化测试板进入通道的两侧,每个滑轨支架上分别安装有一限位滑轨,其特征在于:每个滑轨支架的两端均设置有一个轴承组件;所述轴承组件包括支架、侧轴承和下轴承,支架安装在滑轨支架端部的下部,侧轴承竖直安装在支架上,侧轴承用于对老化测试板的两侧边缘限位,侧轴承表面与限位滑轨的内侧面在同一平面上,下轴承水平安装在支架上,下轴承用于从底部支托住老化测试板。 

作为本实用新型的进一步改进,所述侧轴承和下轴承均采用带螺栓轴滚轮轴承。 

本实用新型与现有技术相比,优点在于:通过对现有的滑轨机构进行合理改进,即在滑轨支架的两端分别设置轴承组件,可以使老化测试板平顺、稳定、精确地进入XY工作台,确保待检测产品的检测精度,提高了工作效率;整体结构简单且持久耐用,减少了操作人员维修维护的工作量。 

附图说明

图1为本实用新型的结构主视图。 

图2为图1的俯视图。 

图3为图2的后视图。 

具体实施方式

下面结合具体附图和实施例对本实用新型作进一步说明。 

如图1~图3所示,本实用新型涉及滑轨机构的改进。所述滑轨机构包括两个滑轨支架1,两个滑轨支架1对称设置在老化测试板进入通道的两侧,每个滑轨支架1上分别安装有一限位滑轨2;本实用新型的改进点是在每个滑轨支架1的两端均设置了一个轴承组件;所述轴承组件主要由支架5、侧轴承3和下轴承4组成,支架5安装在滑轨支架1端部的下部,侧轴承3竖直安装在支架5上,侧轴承3用于对老化测试板的两侧边缘限位,侧轴承3表面与限位滑轨2的内侧面在同一平面上,下轴承4水平安装在支架5上,下轴承4用于从底部支托住老化测试板。 

在具体应用中,老化测试板进入滑轨机构时,轴承组件中的侧轴承3以滚动的形式对老化测试板的两侧边缘进行限位导向,轴承组件中的下轴承4以滚动的形式支托住老化测试板的底部,从而可以使老化测试板的平顺、稳定、精确地进入到XY工作台上,确保待检测产品的检测精度,保证设备高效工作。 

如图1~图3所示,本实用新型中的侧轴承3和下轴承4均采用带螺栓轴滚轮轴承。图示实施例中,滑轨支架1前端的下轴承4采用THK公司的CF6UU轴承,其余的下轴承4以及侧轴承3均采用THK公司的CF4UU轴承。 

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