[实用新型]真空泵

说明书

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池片生产用装置，尤其涉及一种抽石英腔体里废气的真空泵。 

背景技术

在太阳能电池片生产过程中，经过磷扩散的硅片，不仅在硅片的表面形成了PN结，并且硅片的四周边缘也形成了PN结，四周边缘的PN结会造成电池的短路，通过等离子刻蚀可以将四周边缘的N型层去除掉。该工序利用真空泵对放置硅片的石英腔体进行抽真空，保证石英腔体的压力在100PA左右，使石英腔体里的废气通过真空泵不停地排出腔外。 

在完成刻蚀后利用真空泵抽离石英腔里的废气，其中废气的主要成分是等离子体，等离子体具有腐蚀性，将等离子体从真空泵排出的时候，容易使真空泵出口的挡板断裂，从而影响真空泵的正常使用和寿命。此外，石英腔体里面的废气会导致真空泵的泵油具有一定的腐蚀性，会使挡片被腐蚀，机械强度受到影响。 

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种真空泵，以解决石英腔中的废气破坏真空泵挡板的问题。 

为解决上述问题，本实用新型提出了一种真空泵，所述真空泵包括排气口、不锈钢挡片，所述不锈钢挡片覆盖在所述排气口上，所述不锈钢挡片的一端固定在真空泵上。

优选地，所述真空泵还包括一压板，所述压板设置在所述不锈钢挡片上，并与所述不锈钢挡片形成有夹角。 

优选地，所述夹角为15°。 

优选地，所述不锈钢挡片的一端通过螺栓固定在所述真空泵上。 

与现有技术相比，本实用新型提供的真空泵，其具有的不锈钢挡片覆盖在所述排气口上，由于不锈钢挡片的耐腐蚀性，石英腔中的废气不会对不锈钢挡片造成不良影响，而且不锈钢挡片的机械强度较好能延长真空泵使用的寿命。 

设置在不锈钢挡片上的压板能控制挡板打开的角度，使不锈钢挡片能够按照设定的角度打开，便于控制排气口的流量。 

附图说明

图1为本实用新型实施例提供的真空泵挡片与排气口的俯视结构示意图。 

具体实施方式

以下结合附图和具体实施例对本实用新型提出的真空泵作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率，仅用于方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。 

本实用新型的核心思想在于，提供一种真空泵，其具有的不锈钢挡片覆盖在所述排气口上，由于不锈钢挡片的耐腐蚀性，石英腔中的废气不会对不锈钢挡片造成不良影响，而且不锈钢挡片的机械强度较好能延长真空泵使用的寿命。 

图1为本实用新型实施例提供的真空泵挡片与排气口的俯视结构示意图。参照图1，所述真空泵包括排气口11、不锈钢挡片12，所述不锈钢挡片12覆盖在所述排气口11上，所述不锈钢挡片12的一端固定在真空泵上。 

进一步地，所述真空泵还包括一压板(图中未示出)，所述压板设置在所述不锈钢挡片12上，并与所述不锈钢挡片12形成有夹角。在本实施例中，所述夹角为15°。本领域的普通技术人员应该理解，所述压板与不锈钢挡片12形成的夹角不仅仅局限于15°，还可以是其他临近15°的角度，压板设置在不锈钢挡片12的上方，以防止不锈钢挡片12在气压的作用下抬得过高，使不锈钢挡片12变形。 

具体地，所述不锈钢挡片12的一端通过螺栓13固定在所述真空泵上。在使用真空泵抽石英腔中的废气时，不锈钢挡片12相当于单向阀，只能朝一个方向打开，废气通过排气口11排出后，由于不锈钢挡片12的作用不会再有气体进入排气口11。 

显然，本领域的技术人员可以对实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。