[实用新型]硅单晶炉炉盖观察窗无效
| 申请号： | 201120118912.0 | 申请日： | 2011-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN202054930U | 公开（公告）日： | 2011-11-30 |
| 发明（设计）人： | 惠梦君 | 申请（专利权）人： | 无锡市惠德晶体控制设备有限公司 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00;C30B15/26 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 刘宗杰 |
| 地址： | 214174 江苏省无锡市惠山经*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 硅单晶炉炉盖 观察窗 | ||
【权利要求书】：
1.一种硅单晶炉炉盖观察窗，其包括设置于硅单晶炉炉盖之上的第一观察窗和第二观察窗，所述第一观察窗的窗口处设置有若干个摄像头，其特征在于：所述第一、第二观察窗均设置于炉盖所处平面的水平方向上。
2.根据权利要求1所述的硅单晶炉炉盖观察窗；其特征在于：所述摄像头设置为2个，沿炉盖的径向线并列设置于第一观察窗窗口处。
3.根据权利要求1所述的硅单晶炉炉盖观察窗；其特征在于：所述第一、第二观察窗为椭圆形、矩形或长圆形的任一种结构。
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