[实用新型]硅片脱干装置无效
申请号: | 201120124603.4 | 申请日: | 2011-04-13 |
公开(公告)号: | CN202057155U | 公开(公告)日: | 2011-11-30 |
发明(设计)人: | 赵体月;刘西诚;岳耀清 | 申请(专利权)人: | 济宁佳华电子材料有限公司 |
主分类号: | F26B5/08 | 分类号: | F26B5/08 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 272400 山东省*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 硅片 装置 | ||
技术领域:
本实用新型属于机械技术领域,更具体的说是一种单晶硅片生产过程的脱干装置。
背景技术:
目前,单晶硅片广泛使用于光伏电子行业,在单晶硅片的生产过程中,由于切割过程中会产生细微小的颗粒附着在单晶硅片的表面,在清洗细微小的颗粒的过程中,单晶硅片又会附着一些水份,现有技术对单晶硅片的脱干设备结构复杂,维修频率高,企业一次性投资大,不利于中小企业使用。
发明内容:
为解决上述问题,本实用新型提供了一种结构简单,使用方便的硅片脱干装置,所述的硅片脱干装置由硅片夹、外壳、电机轴、旋转盘、排水口、支架、旋转电机组成,其特征是外壳设置为圆筒形,外壳的上部开口,外壳的下端设置支架,外壳的下端侧面上设置排水口,外壳的下端中心轴线位置上设置电机轴,电机轴的上端设置旋转盘,旋转盘的四周对称设置四个硅片夹,电机轴的下端设置旋转电机。
本实用新型所述的旋转盘,其特征在于旋转盘设置在外壳的内部。
使用时,将单晶硅片放置于硅片夹内,打开旋转电机,旋转电机带动电机轴与旋转盘一起旋转,在离心力的作用下,硅片上水份即可被脱干。
本实用新型的有益效果是硅片脱干装置结构简单,使用方便,适宜于中小企业推广使用。
附图说明:
附图是本实用新型结构示意图,附图中:
1.硅片夹,2.外壳,3.电机轴,4.旋转盘,5.排水口,6.支架,7.旋转电机。
具体实施方式:
结合附图对本实用新型进一步详细描述,以便公众更好地掌握本实用新型的实施方法,本实用新型具体的实施方案为:所述的硅片脱干装置由硅片夹1、外壳2、电机轴3、旋转盘4、排水口5、支架6、旋转电机7组成,其特征是外壳2设置为圆筒形,外壳2的上部开口,外壳2的下端设置支架6,外壳2的下端侧面上设置排水口5,外壳2的下端中心轴线位置上设置电机轴3,电机轴3的上端设置旋转盘4,旋转盘4的四周对称设置四个硅片夹1,电机轴3的下端设置旋转电机7。
本实用新型所述的旋转盘4,其特征在于旋转盘4设置在外壳2的内部。
使用时,将单晶硅片放置于硅片夹1内,打开旋转电机7,旋转电机7带动电机轴3与旋转盘4一起旋转,在离心力的作用下,硅片上水份即可被脱干。
本实用新型的有益效果是硅片脱干装置结构简单,使用方便,适宜于中小企业推广使用。
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