[实用新型]硅片脱干装置无效

专利信息
申请号: 201120124603.4 申请日: 2011-04-13
公开(公告)号: CN202057155U 公开(公告)日: 2011-11-30
发明(设计)人: 赵体月;刘西诚;岳耀清 申请(专利权)人: 济宁佳华电子材料有限公司
主分类号: F26B5/08 分类号: F26B5/08
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 272400 山东省*** 国省代码: 山东;37
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 硅片 装置
【说明书】:

技术领域:

本实用新型属于机械技术领域,更具体的说是一种单晶硅片生产过程的脱干装置。

背景技术:

目前,单晶硅片广泛使用于光伏电子行业,在单晶硅片的生产过程中,由于切割过程中会产生细微小的颗粒附着在单晶硅片的表面,在清洗细微小的颗粒的过程中,单晶硅片又会附着一些水份,现有技术对单晶硅片的脱干设备结构复杂,维修频率高,企业一次性投资大,不利于中小企业使用。

发明内容:

为解决上述问题,本实用新型提供了一种结构简单,使用方便的硅片脱干装置,所述的硅片脱干装置由硅片夹、外壳、电机轴、旋转盘、排水口、支架、旋转电机组成,其特征是外壳设置为圆筒形,外壳的上部开口,外壳的下端设置支架,外壳的下端侧面上设置排水口,外壳的下端中心轴线位置上设置电机轴,电机轴的上端设置旋转盘,旋转盘的四周对称设置四个硅片夹,电机轴的下端设置旋转电机。

本实用新型所述的旋转盘,其特征在于旋转盘设置在外壳的内部。

使用时,将单晶硅片放置于硅片夹内,打开旋转电机,旋转电机带动电机轴与旋转盘一起旋转,在离心力的作用下,硅片上水份即可被脱干。

本实用新型的有益效果是硅片脱干装置结构简单,使用方便,适宜于中小企业推广使用。

附图说明:

附图是本实用新型结构示意图,附图中:

1.硅片夹,2.外壳,3.电机轴,4.旋转盘,5.排水口,6.支架,7.旋转电机。

具体实施方式:

结合附图对本实用新型进一步详细描述,以便公众更好地掌握本实用新型的实施方法,本实用新型具体的实施方案为:所述的硅片脱干装置由硅片夹1、外壳2、电机轴3、旋转盘4、排水口5、支架6、旋转电机7组成,其特征是外壳2设置为圆筒形,外壳2的上部开口,外壳2的下端设置支架6,外壳2的下端侧面上设置排水口5,外壳2的下端中心轴线位置上设置电机轴3,电机轴3的上端设置旋转盘4,旋转盘4的四周对称设置四个硅片夹1,电机轴3的下端设置旋转电机7。

本实用新型所述的旋转盘4,其特征在于旋转盘4设置在外壳2的内部。

使用时,将单晶硅片放置于硅片夹1内,打开旋转电机7,旋转电机7带动电机轴3与旋转盘4一起旋转,在离心力的作用下,硅片上水份即可被脱干。

本实用新型的有益效果是硅片脱干装置结构简单,使用方便,适宜于中小企业推广使用。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于济宁佳华电子材料有限公司,未经济宁佳华电子材料有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201120124603.4/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top