[实用新型]一种大功率紫外激光器

权利要求书

1.一种大功率紫外激光器，包括主振荡器、混合腔板条功率放大器和非线性频率转换器三部分，其特征在于主振荡器由LD泵浦源、耦合系统、基频波输入腔镜、激光晶体、RTP电光Q开关、基频波输出腔镜顺序排列而成；混合腔板条功率放大器由LD泵浦源、耦合系统、球面镜、激光板条晶体、柱面镜顺序排列所构成；非线性频率转换器由聚焦透镜、二倍频晶体和三倍频晶体构成；主振荡器后面顺序放置二分之一波片、整形系统和两个45°折返镜，使得从基频波输出腔镜输出的基频波经整形系统整形后由45°折返镜将其传送到混合腔板条功率放大器中；上述各部件分别固定在各自的基座上，各基座固定在底板上；各部件的基座是由铝制成的，带有冷水管道，通过通水对相应的基座进行冷却；整个装置用外壳将其罩在底板上。

2.如权利要求1所述的一种大功率紫外激光器，其特征在于所述的混合腔板条功率放大器中耦合系统由两组柱透镜、一个矩形波导和一个聚焦透镜顺序排列而成，其中柱面镜镀有对1064nm基频波长的增透膜。

3.如权利要求1所述的一种大功率紫外激光器，其特征在于所述的二倍频晶体是I或者II类相位匹配的非线性光学晶体GTP-KTP、KTP、LBO、KTA和BBO晶体中的一种。

4.如权利要求1所述的一种大功率紫外激光器，其特征在于所述的三倍频晶体是I或者II类相位匹配的非线性光学晶体LBO、CBO、BIBO和BBO晶体中的一种。

5.如权利要求1所述的一种大功率紫外激光器，其特征在于所述的激光晶体和激光板条晶体是Nd:YAG、Nd:YLF、Nd:YAP、Nd:LuVO4、Nd:YVO4和Nd:GdVO4激光晶体中的一种。

6.如权利要求1所述的一种大功率紫外激光器，其特征在于所述的基频波输入腔镜外侧镀有对泵浦光的增透膜，内侧镀有对泵浦光的高透膜和具有1064nm基频波长的高反膜；Q开关两端镀有1064nm基频波长的增透膜；基频波输出腔镜镀有对1064nm波长透过率为5％-30％的膜。

7.如权利要求1所述的一种大功率紫外激光器，其特征在于所述的主振荡器中的LD泵浦源是单管LD或是LD列阵；混合腔板条功率放大器中LD泵浦源为LD列阵。

8.如权利要求1所述的一种大功率紫外激光器，其特征在于所述的主振荡器中的耦合系统是单个透镜或是透镜组。

9.如权利要求1所述的一种大功率紫外激光器，其特征在于所述的混合腔板条功率放大器中的球面镜外侧镀有对泵浦光的增透膜，内侧镀有对泵浦光的高透膜和1064nm基频波长的高反膜；柱面镜镀有对1064nm基频波长的高反膜。

10.如权利要求1所述的一种大功率紫外激光器，其特征在于所述的聚焦透镜均镀有对1064nm基频波长的增透膜，折返镜均镀有对1064nm基频波长的高反膜。