[实用新型]功率芯片探针研磨装置

权利要求书

1.一种功率芯片探针研磨装置，其特征在于，功率芯片探针研磨装置包括固定机构、研磨机构、第一控制机构、第二控制机构、水砂纸，固定机构用于固定功率芯片探针，固定机构包括基板和环氧树脂模块，环氧树脂模块位于基板靠近研磨机构的一侧；研磨机构包括移动载台、电机和驱动块，电机设置于移动载台上，驱动块由电机驱动，水砂纸固定在驱动块上；第一控制机构与研磨机构连接且用于控制研磨机构沿第一方向运动；第二控制机构与研磨机构相连接且用于控制研磨机构沿第二方向运动。

2.如权利要求1所述的功率芯片探针研磨装置，其特征在于，所述功率芯片探针研磨装置还包括滑行机构和动力机构，固定机构在滑行机构上滑行，动力机构与研磨机构相连且用于驱动研磨机构研磨功率芯片探针的针尖。

3.如权利要求2所述的功率芯片探针研磨装置，其特征在于，所述功率芯片探针研磨装置还包括基台，固定机构、研磨机构、第一控制机构、第二控制机构、滑行机构和动力机构均设置在基台上。