[实用新型]悬臂式探针卡固化装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种固化装置，特别涉及一种悬臂式探针卡固化装置。

背景技术

随着我国集成电路产业链迅猛发展，作为该产业链中的重要一环--芯片测试设备在市场的份额不断扩大，悬臂式探针卡的需求量也快速增加。悬臂式探针卡作为集成电路工艺领域重要器件，被用在集成电路尚未封装之前，对半导体晶圆上电阻、电容、晶体管等器件的电性参数进行测量。悬臂式探针卡一般包括与晶片上的电极接触的探针和向该探针发送检测信号的电路板。在放探针过程中，环氧树脂会流到针杆上造成探针的针尖到环氧树脂的长度不一致，并在切割多余的环氧树脂过程中很容易损伤探针，另外切割多余的环氧树脂过程需要很长的操作时间。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种悬臂式探针卡固化装置，其保证环氧树脂不流到探针的针尖上，节省时间且提高工作效率。

为解决所述技术问题，本实用新型提供了一种悬臂式探针卡固化装置，其特征在于，其包括放针架和树脂薄膜贴，树脂薄膜贴粘贴在放针架的中间。

优选地，所述放针架的形状为凹口状。

本实用新型的积极进步效果在于：本实用新型悬臂式探针卡固化装置保证环氧树脂不流到探针的针尖上，省去加工架子的成本和提高了工作效率。

附图说明

图1为本实用新型悬臂式探针卡固化装置的结构示意图。

具体实施方式

下面举个较佳实施例，并结合附图来更清楚完整地说明本实用新型。

如图1所示，本实用新型悬臂式探针卡固化装置包括放针架1和树脂薄膜贴2，放针架1的形状为凹口状，即放针架1的两侧边高于中间，树脂薄膜贴2粘贴在放针架1的中间。

本实用新型悬臂式探针卡固化装置的工作原理如下：树脂薄膜贴粘贴在放针架的中间，固化时照着树脂薄膜贴的形状涂上环氧树脂，不仅可以保证环氧树脂不流到悬臂式探针卡的探针3上且省去切割环氧树脂的时间，还能保证针尖到环氧树脂的长度长短一致，这样节省了操作时间提高了工作效率。

虽然以上描述了本实用新型的具体实施方式，但是本领域的技术人员应当理解，这些仅是举例说明，在不背离本实用新型的原理和实质的前提下，可以对这些实施方式做出多种变更或修改。因此，本实用新型的保护范围由所附权利要求书限定。