[实用新型]等离子体反应器

权利要求书

1.一种等离子体反应器，其特征在于，其包括真空容器，到所述真空容器的进气口装置，在所述真空容器中产生等离子体的等离子体装置，所述真空容器内的基底保持器以及排气装置，所述排气装置邻近所述真空容器的壁用于使气体从所述真空容器除去，并且所述排气装置与所述进气口装置并与所述基底保持器隔开一段距离，所述排气装置包括穿过所述壁的至少一个排出口以及至少一个气流转向器本体，其设计用于使将从所述真空容器除去的所述气体流的至少一部分在进入所述排出口之前转向。

2.根据权利要求1所述的等离子体反应器，其特征在于，所述容器是箱形的，其包括顶壁，底壁和侧壁，所述至少一个排气装置设在所述侧壁附近，产生所述等离子体的所述等离子体装置包括具有电极表面的电极，所述电极表面沿所述顶壁和底壁之一延伸并且具有与所述侧壁隔开一段距离的电极表面周边，所述流体转向器本体设计成选择性地使已经经过最接近所述排气装置的所述电极表面周边区域的将除去的所述气体流转向。

3.根据权利要求2所述的等离子体反应器，其特征在于，所述容器是方形箱形状并且所述电极表面是方形的。

4.根据权利要求2所述的等离子体反应器，其特征在于，所述流体转向器本体是棒形，其在最接近所述排出口的所述电极表面周边和所述排出口之间的所述容器空间中，布置在最接近所述排出口的所述电极表面周边旁边并与之隔开一段距离并且与所述排出口隔开一段距离。

5.根据权利要求4所述的等离子体反应器，其特征在于，所述容器是方形箱形状并且所述电极表面是方形的。

6.根据权利要求1所述的等离子体反应器，其特征在于，所述容器是箱形的，其包括顶壁，底壁和侧壁，所述至少一个排气装置设在所述侧壁附近，所述基底保持器沿所述顶壁和所述底壁之一延伸并且具有与所述侧壁隔开一段距离的基底保持器周边，所述流体转向器本体设计成选择性地使已经经过最接近所述排气装置的所述基底保持器周边区域的将除去的所述气体流转向。

7.根据权利要求6所述的等离子体反应器，其特征在于，所述容器是方形箱形状并且所述基底保持器是方形的。

8.根据权利要求6所述的等离子体反应器，其特征在于，所述流体转向器本体是棒形，其在最接近所述排出口的所述基底保持器周边和所述排出口之间的所述容器空间中，布置在最接近所述排出口的所述基底保持器周边旁边并与之隔开一段距离并且与所述排出口隔开一段距离。

9.根据权利要求8所述的等离子体反应器，其特征在于，所述容器是方形箱形状并且所述基底保持器是方形的。

10.根据权利要求2所述的等离子体反应器，其特征在于，所述基底保持器沿所述顶壁和所述底壁的另一个延伸并且具有与所述侧壁隔开一段距离的基底保持器周边，所述排气装置包括所述流体转向器本体的第二个，其设计成选择性地使已经经过最接近所述排气装置的所述基底保持器周边区域的将除去的所述气体流转向。

11.根据权利要求10所述的等离子体反应器，其特征在于，所述容器是方形箱形状并且所述基底保持器和所述电极表面是方形的。

12.根据权利要求11所述的等离子体反应器，其特征在于，所述流体转向器本体的第二个是棒形，其在最接近所述排出口的所述基底保持器周边和所述排出口之间的所述容器空间中，布置在最接近所述排出口的所述基底保持器周边旁边并与之隔开一段距离并且与所述排出口隔开一段距离。

13.根据权利要求12所述的等离子体反应器，其特征在于，所述容器是方形箱形状并且所述基底保持器和所述电极表面是方形的。

14.根据权利要求1所述的等离子体反应器，其特征在于，所述排气装置包括至少两个所述排出口，并且所述至少一个流体转向器本体设计成使将除去的所述气体流基本上仅仅朝向所述至少两个排出口之一或朝向所述至少两个排出口的另一个转向。