[实用新型]一种预烤装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及材料的预烤工艺，尤其涉及一种预烤装置。

背景技术

在彩色滤光片(Color Filter)的制造工序中，需要将整面涂满光阻的基板进行预烤以去除光阻中的溶剂。为了使基板的温度保持在90±2℃，预烤一般采用热板(Hot Plate)模式，且预烤温度为70-120℃，预烤时间为70-120s。图1为现有技术中预烤装置的结构示意图，如图1所示，现有技术中的预烤装置具有腔体，该腔体由位于底部的热板1、四个侧板和上板3构成；其中，热板1上形成有顶柱(Pin)，用于放置涂满光阻的基板2，相对的两个侧板上分别形成有进风口5和出风口4。在基板的加热过程中，进风口5通入热风将光阻中挥发性的溶剂从出风口4带走。由于上板3处于常温23℃，当加热的溶剂遇到冷的上板3时，容易凝结并滴落到基板1上，这样会造成异物缺陷。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型的主要目的在于提供一种预烤装置，能够防止凝结的溶剂滴落到在预烤装置中进行预烤的基板上造成异物缺陷。

为达到上述目的，本实用新型的技术方案是这样实现的：

一种预烤装置，具有腔体，所述腔体由热板、上板和至少三个侧板构成，所述腔体上具有进风口和出风口；所述腔体内具有：倾斜板以及和倾斜板对应的溶剂收集盒；其中，

所述倾斜板的一边固定在上板上，另一边固定在一个侧板上；

所述溶剂收集盒设置在侧板上，且位于所述倾斜板的下方。

其中，所述倾斜板的数量为至少三个，所述溶剂收集盒的数量为至少三个。

进一步地，所述倾斜板的数量为偶数个，所述溶剂收集盒的数量为偶数个。

优选地，所述倾斜板的数量为四个，所述溶剂收集盒的数量为四个。

优选地，所述进风口形成在相对的两个侧板上，且位于所述溶剂收集盒的下方；所述出风口形成在所述上板上。

优选地，所述进风口形成在一个侧板上，所述出风口形成在与所述一个侧板相对的另一个侧板上，所述进风口和出风口位于所述溶剂收集盒的下方。

优选地，所述倾斜板与水平面之间的夹角大于45度，且小于90度。

由以上技术方案可以看出，本实用新型的预烤装置在腔体内设置对应的倾斜板以及溶剂收集盒，使凝结的溶剂沿着倾斜板的表面下滑，滴落到溶剂收集盒中，这样可以防止凝结的溶剂滴落到在预烤装置中进行预烤的基板上造成异物缺陷。

附图说明

图1为现有技术中预烤装置的结构示意图；

图2为本实用新型实施例一的预烤装置的结构示意图；

图3为本实用新型实施例一的预烤装置的俯视示意图；

图4为本实用新型实施例二的预烤装置的结构示意图。

具体实施方式

下面对本实用新型的技术方案做详细说明。

本实用新型的预烤装置具有腔体，所述腔体由热板、上板和至少三个侧板构成，所述腔体上具有进风口和出风口；所述腔体内具有：倾斜板以及和倾斜板对应的溶剂收集盒；其中，

所述倾斜板的一边固定在上板上，另一边固定在一个侧板上；

所述溶剂收集盒设置在侧板上，且位于所述倾斜板的下方。

其中，所述倾斜板的数量为偶数个，所述溶剂收集盒的数量为偶数个。

进一步地，所述倾斜板的数量为四个，所述溶剂收集盒的数量为四个。

下面通过具体实施例对本发明的技术方案做进一步详细说明。

如图2和3所示，本实用新型实施例一的预烤装置具有腔体，该腔体由位于底部的热板1、四个侧板和上板3构成。在该腔体内，涂满光阻的基板2放置在热板1上的顶Pin上。该腔体内还具有倾斜板7、8、9、10，以及和倾斜板一一对应的溶剂收集盒11、12、13、14。其中，每个倾斜板的一边固定在上板3上，另一边固定在一个侧板上。溶剂收集盒设置在侧板上，优选地，溶剂收集盒11、12、13、14均匀地设置在四个侧板上。溶剂收集盒11位于倾斜板7的下方，其他一一对应的溶剂收集盒与倾斜板的位置关系也是如此。另外，相对的两个侧板上各形成有一个进风口5，所述进风口5位于所述溶剂收集盒的下方；上板3的中央处形成有出风口4。可以看出，实施例一的预烤装置采用了相对侧的两个进风口5进热风、顶部的出风口4出热风这一设计，便于将光阻中的溶剂排出。

当基板2在实施例一的预烤装置中预烤时，如果溶剂发生凝结，则溶剂会凝结在倾斜板7、8、9、10的下表面上，且凝结的溶剂会沿着倾斜板7、8、9、10的表面下滑，滴落到溶剂收集盒11、12、13、14中，这样可以防止凝结的溶剂滴落到基板2上造成异物缺陷。