[实用新型]回绕式辐射热补偿保护加热器

说明书

技术领域

本实用新型是一种回绕式辐射热补偿保护加热器，尤指一种可避免现有加热器易因过热而造成金属污染及石英管体寿命降低的缺失，同时可使本实用新型以较短时间达到供应制程所需温度，进而使本实用新型可达到提升生产效率与增加石英管体及加热装置使用寿命的目的。

背景技术

一般的加热器，请参阅图1所示，其经常使用于半导体制程如湿式蚀刻(wetetching)的加热，其包含：一石英管体1，该石英管体1设有内流道11与外流道13，该内流道11与外流道13相贯通，该内流道11设有入水口12，该外流道13设有出水口15，又该石英管体1设有中空部14，该中空部14位于外流道13与内流道11之间；一加热管体2，该加热管体2设于该中空部14内，该加热管体2设有二导电端点21、22；当该加热管体2其二导电端点21、22连接电源而电气导通时，该加热管体2即可对进入该石英管体1内的液体加热，进而使该加热器可达到加热液体的功效。

该现有的加热器虽可达到加热液体的功效，但该加热器使用的加热管体2多为电热丝管或卤素丝灯管，其产生的高集热点容易对该石英管体1的表面造成毛细孔洞或电流热击穿电极，进而造成被加热流体的金属污染及该石英管体1的寿命降低，造成产品安全性危害，请再参阅第二图所示为现有加热器的温控曲线图，由该温控曲线图可知，现有加热器其温控曲线的震荡幅度较大，也即其加热的功率及输出较不稳定，因此容易造成制程温度品质波动，进而导致生产效率降低及产品品质不稳定。

因此，如何将上述等缺失加以摒除，即为本案创作人所欲解决的技术困难点之所在。

发明内容

有鉴于现有的加热器，因其产生的高热容易对石英管体的表面造成毛细孔洞，进而造成金属污染及该石英管体寿命降低，又其加热的功率及输出较不稳定，因此达到制程温度所需时间较久，进而导致生产效率降低及使用上的不便，因此本实用新型的目的在于提供一种回绕式辐射热补偿保护加热器，通过本实用新型其第一加热装置的材质为碳化硅或为氧化锌或为氧化锡或为导热金属材料，而可稳定对该石英管体加热，以避免现有加热器易因过热而对石英管体表面造成毛细孔洞或电流热击穿电极，而造成金属污染及石英管体寿命降低的缺失，同时可使本实用新型以较短时间达到供应制程所需稳定温度，进而使本实用新型可达到提升生产效率及增加石英管体使用寿命的目的。

为达成以上的目的，本实用新型提供了一种回绕式辐射热补偿保护加热器，其包含：

一石英管体，该石英管体设有至少一第一流道，该石英管体设有至少一第二流道，该第二流道与该第一流道相贯通，该石英管体设有第一中空部；

一第一加热装置，该第一加热装置设于该石英管体的第一中空部内，又该第一加热装置的材质为碳化硅、氧化锌、氧化锡或导热金属材料，该第一加热装置设有第一导电端点与第二导电端点。

实施时，该第一加热装置为管状、片状或镀膜。

实施时，该石英管体外包围设有壳体组件，又该壳体组件设有壳体、第一盖体及第二盖体，该第一盖体与该壳体一侧相固设，该第二盖体与该壳体另一侧相固设。

实施时，该壳体为高耐温防酸碱材质。

本实用新型还提供了一种回绕式辐射热补偿保护加热器，其包含：

一石英管体，该石英管体设有至少一第一流道，该石英管体设有至少一第二流道，该第二流道与第一流道相贯通，该石英管体设有第一中空部，又该石英管体一侧设有至少一第一感测器；

一第一加热装置，该第一加热装置设于该石英管体的第一中空部内，又该第一加热装置设有第一导电端点与第二导电端点。

实施时，该第一感测器为漏液感知器、流量计或测温装置。

实施时，该第一加热装置的材质为碳化硅、氧化锌、氧化锡或导热金属材料。

本实用新型还提供了一种回绕式辐射热补偿保护加热器，其包含：

一石英管体，该石英管体设有至少一第一流道，该石英管体设有至少一第二流道，又该第一流道与第二流道之间设有至少一第三流道，该石英管体设有第一中空部，又该石英管体设有至少一第二中空部；

一第一加热装置，该第一加热装置设于该石英管体的第一中空部内，该第一加热装置设有第一导电端点与第二导电端点；

至少一第二加热装置，该第二加热装置设于该石英管体的第二中空部内，该第二加热装置设有第三导电端点与第四导电端点。

实施时，该第一加热装置与第二加热装置的材质为碳化硅、氧化锌、氧化锡或导热金属材料。

实施时，该第一加热装置与该第二加热装置分别使用不同电压系统的电源。