[实用新型]取放头结构有效
申请号: | 201120144300.9 | 申请日: | 2011-05-11 |
公开(公告)号: | CN202058715U | 公开(公告)日: | 2011-11-30 |
发明(设计)人: | 陆林 | 申请(专利权)人: | 京隆科技(苏州)有限公司 |
主分类号: | H01L21/68 | 分类号: | H01L21/68;H01L21/677 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 周国城 |
地址: | 215123 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 取放头 结构 | ||
技术领域
本实用新型涉及取放头结构,尤指一种适用于晶粒挑捡设备的取放头。
背景技术
现有技术领域中,所有机器或设备只要涉及对工作件的移动、及定位等动作时,皆需要取放装置(pick and place)。特别是半导体、封装测试、机密机械等需高精密度的产业。
参考图1与图2,为现有取放头结构的分解图与剖视图。现有取放头结构主要包括一上半体91、一下半体92、二释放机构93。上半体91具有一第一结合面911结合于下半体92的一第二结合面921。在下半体92的第二结合面921相反的另一面突伸有一吸嘴部94。
上半体91还设有二穿孔914、一进气口912及二气道913,其中进气口912连通二气道913,二气道913皆开口于第一结合面911。
下半体92设有二螺孔924、一抽真空口922及二容置槽923,其中二螺孔924与二容置槽923分别对应于上半体91的二穿孔914与二气道913,抽真空口922与吸嘴部94的吸口941连通。
每一释放机构93包括一推杆931、一密封圈934及一弹簧935,其中推杆931的第一端932呈一哑铃状结构,第二端936则为直杆状,密封圈934即套设在哑铃状第一端932的缺槽933中。弹簧935套设在第二端936。
当组装完成时,用二螺栓95穿过上半体91的二穿孔914并锁入下半体92的二螺孔924使二体91,92相互固定,释放机构93则对应收容在容置槽923,且第一端932直接面对气道913,第二端936伸出下半体92,二第二端936分别位于吸嘴部94两旁。弹簧935抵顶于推杆931的第一端932与下半体92之间,其施力使推杆931倾向往上(即朝上半体91)移动。
欲取一工作件例如一晶粒时,以一真空源连接至抽真空口922,则因压力差原理使晶粒被吸附在吸嘴部94。欲释放晶粒时,气体从进气口912沿二气道913流入而冲击于二释放机构93,气体施力抵抗弹簧力而推动推杆931下移,晶粒因此被推杆931下推至置晶位置。
上述现有取放头设计的缺点如下:以推杆物理性撞击晶粒较易因推杆力量控制不当导致晶粒受损;需进行锁附结合的二半体在通气体时在结合面处有漏气的可能,且运作一段时间后会有推杆变形、密封圈磨损、弹簧老化等问题。此外,明显地,因使用零件数繁多,组装步骤也跟着耗时耗力。
由此可知,如何得到一种安全、简易、又可节省成本的取放装置,实在是产业上的一种迫切需要。
实用新型内容
本实用新型的主要目的是提供一种取放头结构,以便能避免漏气问题、减少使用零件、便于生产。
为达成上述目的,本实用新型的取放头结构包括一体成型的一本体及一吸嘴部,该吸嘴部界定有一吸口,该本体内部设有多个气道且于外表面设有一进气口、多个喷气口与一抽真空口,该抽真空口连通该吸口,该多个气道连通该进气口与对应的喷气口,该吸嘴部的该吸口较该多个喷气口向外延伸。
所述的取放头结构,其中,该多个气道数量为二。
所述的取放头结构,其中,该本体包括有多个凸柱,该多个气道对应延伸于该多个凸柱,且该多个喷气口对应设于该多个凸柱末端。
所述的取放头结构,其中,还包括多个套环,对应松配合于该多个凸柱。
所述的取放头结构,其中,还包括多个模块套管,且该本体包括多个凹陷,该多个喷气口对应开设于该多个凹陷的壁面,该多个模块套管对应嵌设在该多个凹陷中。
本实用新型的有益效果是,通过上述结构设计,一体成型的本体使得推晶用气体不会有漏气现象,确保置晶的成功,且因不存在以推杆直接推压晶粒的情形,也就不会有晶粒或推杆刮伤的不良结果。此外,本实用新型的取放头结构简单、也无复杂零件组装的需求,因此节省零件成本、制造人力、工时等,而少用零件对装置整体可靠度必然为正面帮助。
上述本体可包括多个凸柱,其中多个气道对应延伸于多个凸柱,且多个喷气口对应设于凸柱末端。通过此种具凸柱的本体设计,可额外取用多个套环来对应配合于多个凸柱,如此可以通过调整套环位置来改变气体实际喷出面与晶粒的间距,通过此因应需求改变晶粒实际受气体吹拂的力量,具有适应不同条件场合的优点。
或者,上述本体可包括有多个凹陷,其中多个喷气口对应开设于多个凹陷的壁面,可额外利用多个模块套管对应嵌设在多个凹陷中,同样具有如上述适应不同条件场合的优点。
附图说明
图1为现有取放头结构分解图;
图2为现有取放头结构剖视图;
图3为本实用新型第一较佳实施例的挑检机部分立体图;
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造