[实用新型]取放头结构有效

专利信息
申请号: 201120144300.9 申请日: 2011-05-11
公开(公告)号: CN202058715U 公开(公告)日: 2011-11-30
发明(设计)人: 陆林 申请(专利权)人: 京隆科技(苏州)有限公司
主分类号: H01L21/68 分类号: H01L21/68;H01L21/677
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 周国城
地址: 215123 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 取放头 结构
【说明书】:

技术领域

实用新型涉及取放头结构,尤指一种适用于晶粒挑捡设备的取放头。

背景技术

现有技术领域中,所有机器或设备只要涉及对工作件的移动、及定位等动作时,皆需要取放装置(pick and place)。特别是半导体、封装测试、机密机械等需高精密度的产业。

参考图1与图2,为现有取放头结构的分解图与剖视图。现有取放头结构主要包括一上半体91、一下半体92、二释放机构93。上半体91具有一第一结合面911结合于下半体92的一第二结合面921。在下半体92的第二结合面921相反的另一面突伸有一吸嘴部94。

上半体91还设有二穿孔914、一进气口912及二气道913,其中进气口912连通二气道913,二气道913皆开口于第一结合面911。

下半体92设有二螺孔924、一抽真空口922及二容置槽923,其中二螺孔924与二容置槽923分别对应于上半体91的二穿孔914与二气道913,抽真空口922与吸嘴部94的吸口941连通。

每一释放机构93包括一推杆931、一密封圈934及一弹簧935,其中推杆931的第一端932呈一哑铃状结构,第二端936则为直杆状,密封圈934即套设在哑铃状第一端932的缺槽933中。弹簧935套设在第二端936。

当组装完成时,用二螺栓95穿过上半体91的二穿孔914并锁入下半体92的二螺孔924使二体91,92相互固定,释放机构93则对应收容在容置槽923,且第一端932直接面对气道913,第二端936伸出下半体92,二第二端936分别位于吸嘴部94两旁。弹簧935抵顶于推杆931的第一端932与下半体92之间,其施力使推杆931倾向往上(即朝上半体91)移动。

欲取一工作件例如一晶粒时,以一真空源连接至抽真空口922,则因压力差原理使晶粒被吸附在吸嘴部94。欲释放晶粒时,气体从进气口912沿二气道913流入而冲击于二释放机构93,气体施力抵抗弹簧力而推动推杆931下移,晶粒因此被推杆931下推至置晶位置。

上述现有取放头设计的缺点如下:以推杆物理性撞击晶粒较易因推杆力量控制不当导致晶粒受损;需进行锁附结合的二半体在通气体时在结合面处有漏气的可能,且运作一段时间后会有推杆变形、密封圈磨损、弹簧老化等问题。此外,明显地,因使用零件数繁多,组装步骤也跟着耗时耗力。

由此可知,如何得到一种安全、简易、又可节省成本的取放装置,实在是产业上的一种迫切需要。

实用新型内容

本实用新型的主要目的是提供一种取放头结构,以便能避免漏气问题、减少使用零件、便于生产。

为达成上述目的,本实用新型的取放头结构包括一体成型的一本体及一吸嘴部,该吸嘴部界定有一吸口,该本体内部设有多个气道且于外表面设有一进气口、多个喷气口与一抽真空口,该抽真空口连通该吸口,该多个气道连通该进气口与对应的喷气口,该吸嘴部的该吸口较该多个喷气口向外延伸。

所述的取放头结构,其中,该多个气道数量为二。

所述的取放头结构,其中,该本体包括有多个凸柱,该多个气道对应延伸于该多个凸柱,且该多个喷气口对应设于该多个凸柱末端。

所述的取放头结构,其中,还包括多个套环,对应松配合于该多个凸柱。

所述的取放头结构,其中,还包括多个模块套管,且该本体包括多个凹陷,该多个喷气口对应开设于该多个凹陷的壁面,该多个模块套管对应嵌设在该多个凹陷中。

本实用新型的有益效果是,通过上述结构设计,一体成型的本体使得推晶用气体不会有漏气现象,确保置晶的成功,且因不存在以推杆直接推压晶粒的情形,也就不会有晶粒或推杆刮伤的不良结果。此外,本实用新型的取放头结构简单、也无复杂零件组装的需求,因此节省零件成本、制造人力、工时等,而少用零件对装置整体可靠度必然为正面帮助。

上述本体可包括多个凸柱,其中多个气道对应延伸于多个凸柱,且多个喷气口对应设于凸柱末端。通过此种具凸柱的本体设计,可额外取用多个套环来对应配合于多个凸柱,如此可以通过调整套环位置来改变气体实际喷出面与晶粒的间距,通过此因应需求改变晶粒实际受气体吹拂的力量,具有适应不同条件场合的优点。

或者,上述本体可包括有多个凹陷,其中多个喷气口对应开设于多个凹陷的壁面,可额外利用多个模块套管对应嵌设在多个凹陷中,同样具有如上述适应不同条件场合的优点。

附图说明

图1为现有取放头结构分解图;

图2为现有取放头结构剖视图;

图3为本实用新型第一较佳实施例的挑检机部分立体图;

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