[实用新型]气动平台

说明书

技术领域

本实用新型为一种用于装载物品进行加工的平台，尤指一种利用气体做为润滑介质的气动平台。

背景技术

一般在切割晶圆或是LED等高科技半导体材料时，皆需经由切割等手续才会形成可利用的产品。在切割进行时，利用一平台来带动这些半导体材料进行前后左右的移动，而可配合刀具落下的位置来完成切割工序。

其中，平台位移精确度将直接影响晶圆被切割后的状况，若有任何偏斜，将导致切割后的成品无法使用，形成损失。

为使平台能够移动顺畅，常会于相对活动的组件之间设置润滑油或是轴承等物，使得平台能够平稳地滑动至指定的位置。然而，润滑油会有消耗或漏出等问题，在经过一段时间后，由于已无法提供润滑效果，故将使组件彼此摩擦，而发生抖动或是位移不精确等问题，而轴承亦为机械式的辅助传动，仍然会有消耗毁损的问题，进而导致晶圆的毁损。

再者，科技产品的体积愈来愈小，功能越来越多，倘若晶圆在切割过程中，稍有闪失，将会造成庞大的损失，因此，只要平台无法平稳精确地位移，即无法适应精度要求逐渐提升的切割。

发明内容

本实用新型所要解决的技术问题是，针对现有技术不足，提供一种气动平台，其利用气体阻隔需相对移动的组件，避免摩擦的产生，可增进平台移动的精确度。

为解决上述技术问题，本实用新型所采用的技术方案是：一种气动平台，包括一第一固定座、一第一活动座、一第二固定座、一第二活动座与至少一驱动装置，该第一活动座置于该第一固定座上方，且该第一活动座内设有一第一管道，该第一管道设有至少一第一进气孔与数个第一出气孔，该些第一出气孔朝向该第一固定座；该第二固定座设置于该第一活动座上；该第二活动座置于该第二固定座上方，该第二活动座内设有一第二管道，该第二管道设有至少一第二进气孔与数个第二出气孔，该些第二出气孔朝向该第二固定座；该驱动装置连接于该第一活动座与该第二活动座，用以提供该第一活动座与该第二活动座移动的动力；当气体自该第一进气孔与该第二进气孔进入后，将由该第一出气孔与该第二出气孔排出，使得该第一固定座与该第一活动座之间产生一第一间隙，该第二固定座与该第二活动座之间产生一第二间隙。当该第一间隙与该第二间隙内具有所充入的气体时，将可使该第一固定座与该第一活动座有间隔分离，该第二固定座与该第二活动座有间隔分离。

该第一活动座与该第二活动座相互垂直。

该第一固定座包括一第一轨道，该第一活动座插入该第一轨道，且部分该些第一出气孔面向于该第一轨道的内侧。

该第二活动座包括一第二轨道，且该第二活动座藉由该第一轨道插入该第二固定座；又，该第二管道延伸至该第二轨道内，且部分第二出气孔设置于该第二轨道内侧。

由于本实用新型利用气体做为组件之间的介质，使得各相对移动的组件在移动时，不会直接接触而产生擦痕等问题。并且，气体阻力极小，对于系统在控制位移距离上更加精确，故可因应更高精度的需求。

又，本实用新型可进一步使该第一活动座与该第二活动座相互垂直，而具有不同方向的移动。

又，本实用新型利用一第一轨道与一第二轨道的设计，使得该第一活动座与该第二活动座的移动更加稳定。

以下兹举一实施例，配合图式、图号，将本实用新型的构成内容及其所达成的功效详细说明如后。

附图说明

图1为本实用新型实施例的立体图；

图2为本实用新型实施例的另一视角的立体图；

图3为本实用新型实施例的第一活动座的透视图；

图4为本实用新型实施例的第一固定座与第一活动座的剖面示意图；

图5为本实用新型实施例的第二活动座结合于第一固定座的立体透视图。

标号说明：

10……第一固定座；

11……第一轨道；

20……第一活动座；

21……第一管道；

211……第一进气孔；

212……第一出气孔；

30……第二固定座；

40……第二活动座；

41……第二管道；

411……第二进气孔；

412……第二出气孔；

42……第二轨道。

具体实施方式