[实用新型]一种具有多重隔板的表面薄膜沉积装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种表面处理装置，尤其是一种具有多重隔板的表面薄膜沉积装置。 

背景技术

进行表面镀膜的处理(例如表面光学薄膜的镀膜)，通常是采用如图1的装置完成的：其中1是蒸镀材料，2是装有蒸镀材料的坩埚，3是用于加热产生电子束的加热丝，4是蒸镀材料的蒸汽，5是使蒸汽部分离子化的离子化丝，6是用于阻挡加热丝及离子化丝热量外溢的隔热板，7是被蒸镀表面，8是真空容器。 

然而上述装置存在下述问题，即由于加热丝和离子化丝产生高温往往会导致加热丝和离子化丝构成材料的一部分蒸发，并混入蒸镀材料的蒸汽中成为杂质，从而最终造成功能薄膜纯度降低，影响成膜质量。 

发明内容

本实用新型的目的即在于提供一种能够有效防止蒸镀材料的蒸汽中混入杂质的表面薄膜沉积装置。 

本实用新型所采用的技术方案如下：一种具有多重隔板的表面薄膜沉积装置，其具有真空容器，内置于真空容器中的用于容纳蒸镀材料的坩埚，用于产生照射并加热蒸镀材料的激光束的激光辐照器，在所述激光辐照器与蒸镀材料的蒸汽之间设置有多重仅允许激光束通过的隔板。 

本实用新型的有益效果是，由于采用了激光辐照器作为加热源，从而避免了现有的以加热丝作为加热源产生的加热源材料蒸发进入蒸镀材料蒸汽中成为杂质的问题；同时，由于激光束必然会辐照到蒸镀材料的蒸汽，从而使部分蒸汽离子化，也即激光辐照器同时发挥了加热蒸镀材料和离子化蒸镀材料蒸汽的双重作用；此外，由于设置了多重隔板，能够有效防止蒸镀材料的蒸汽沉积到激光辐照器处造成的激光辐照器污染。 

附图说明

图1是现有表面镀膜装置的结构示意图； 

图2是本实用新型的结构示意图。 

具体实施方式

下面结合附图2，详细描述本实用新型的具有多重隔板的表面薄膜沉积装置，其具有真空容器9，内置于真空容器9中的用于容纳蒸镀材料10的坩埚11，用于产生照射并加热蒸镀材料10的激光束12的激光辐照器13，激光辐照器13与真空容器9外的激光发生器14连接，在所述激光辐照器13与蒸镀材料10的蒸汽之间设置有两重仅允许激光束通过的隔板15A、15B。