[实用新型]狭缝涂布机喷嘴的清洗装置有效
申请号: | 201120146884.3 | 申请日: | 2011-05-10 |
公开(公告)号: | CN202087472U | 公开(公告)日: | 2011-12-28 |
发明(设计)人: | 王江 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电技术有限公司 |
主分类号: | B05B15/02 | 分类号: | B05B15/02 |
代理公司: | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人: | 胡海国 |
地址: | 518132 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 狭缝 涂布机 喷嘴 清洗 装置 | ||
技术领域
本实用新型涉及清洗装置,特别涉及一种狭缝涂布机喷嘴的清洗装置。
背景技术
在TFT-LCD(Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display,薄膜场效应晶体管显示器)面板制造行业当中,面板制造流程通常需要用到狭缝涂布机喷嘴来涂布光刻胶,狭缝涂布机喷嘴经过一段时间涂布动作之后都需要进行清洗。现有的狭缝涂布机喷嘴包括两个斜面和一喷嘴面。上述喷嘴面上设有用于涂布光阻剂的狭缝。目前,狭缝涂布机喷嘴的两个斜面是使用清洗装置清洗,而狭缝的光阻剂是需要人工使用疏通薄膜进行疏通。然而,人工疏通时,需要打开设备防护门,导致产生微粒和颗粒污染狭缝涂布机喷嘴,清洗起来工时也较长。
实用新型内容
本实用新型的主要目的是提供一种狭缝涂布机喷嘴的清洗装置,旨在可以减少污染,节省工时。
本实用新型提出一种狭缝涂布机喷嘴的清洗装置,包括一本体,所述本体上设置有一用于接收一狭缝涂布机喷嘴的接收槽,所述接收槽包括一第一斜面、一第二斜面和连接第一斜面与第二斜面的一连接面,所述第一斜面、第二斜面上分别形成有多个用于清洗剂喷出的注入孔,所述连接面上形成有一插口,上述插口中插接有一用于疏通狭缝涂布机喷嘴的疏通薄膜。
优选地,所述插口形成于连接面的中间位置。
优选地,所述疏通薄膜垂直于上述连接面插接在插口内。
优选地,所述清洗装置还包括一引导架,上述引导架用于引导狭缝涂布机喷嘴垂直下移到接收槽中。
优选地,上述清洗装置还包括一驱动所述本体沿接收槽的长度方向运动的电机。
优选地,所述接收槽的截面为倒梯形。
优选地,所述插口的宽度为40至100um。
优选地,所述插口的深度为2~5mm。
优选地,所述插口的宽度与所述疏通薄膜的厚度均为50um。
本实用新型的清洗装置的两个斜面可以用来清洗狭缝涂布机喷嘴的两个斜面,插口内的疏通薄膜可以用来疏通狭缝涂布机喷嘴的狭缝,不再需要人工来疏通狭缝涂布机喷嘴,可避免因打开设备防护门而产生较多的微粒、颗粒。另外,本实用新型的清洗装置清洗狭缝涂布机喷嘴的两个斜面和疏通狭缝可同时进行,节省工时。
附图说明
图1为本实用新型的狭缝涂布机喷嘴的清洗装置第一实施例的立体结构示意图;
图2为图1所示的清洗装置所清洗的狭缝涂布机喷嘴的立体结构示意图;
图3为图1所示的清洗装置清洗狭缝涂布机喷嘴的剖面结构示意图。
本实用新型目的的实现、功能特点及优点将结合实施例,参照附图做进一步说明。
具体实施方式
应当理解,此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型,并不用于限定本实用新型。
参照图1,图1为本实用新型的狭缝涂布机喷嘴的清洗装置的第一实施例的立体结构示意图。该清洗装置包括一本体100,本体100上形成有一用于接收狭缝涂布机喷嘴的接收槽101,接收槽101包括一第一斜面102、一第二斜面103和一连接第一斜面102与第二斜面103的连接面104,连接面104设置在接收槽101的底部,第一斜面102、第二斜面103上分别形成有多个用于喷出清洗剂的注入孔105。连接面104上形成有一用于插接疏通薄膜107的插口106。插口106形成于连接面104的中间位置。疏通薄膜107通过人工或机器设备垂直于上述连接面104插接在插口106内。
上述清洗装置还包括一电机(图未示),用于驱动所述本体100沿所述接收槽101的长度方向运动。
本实施例中,插口106的深度为2~5mm,宽度为40至100um;疏通薄膜107的厚度与插口106的宽度是相对应适配的,疏通薄膜107能刚刚好插紧在插口106内。插口106的宽度与疏通薄膜107的厚度优选为50um。疏通薄膜107采用的是硬度较强的金属材料制成,如钢片、铜片等。在其它实施例中,疏通薄膜107的厚度和插口106的宽度可根据实际清洗的喷嘴的狭缝来确定,以便于能起到更好的清洗作用。
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