[实用新型]炉体移动式高纯晶体生长装置

权利要求书

1.一种炉体移动式高纯晶体生长装置，包括机架(1)、安瓿(11)、炉体(12)和控制装置，其特征是：所述的机架(1)立柱上设置丝杠(3)和纵向导轨(5)，所述的丝杠(3)同轴连接丝杠电机(2)，所述的纵向导轨(5)与滑座(4)动配合，滑座(4)上设置炉体(12)；所述的炉体(12)内设置炉芯(9)，炉芯(9)内同轴连接炉膛(10)；所述的炉体(12)下方的机座(8)之间设置安瓿控制装置(7)，所述的安瓿控制装置(7)上设置驱动电机(15)和安瓿旋转轴(16)，两者通过同步带(6)实现动力传动；所述的安瓿旋转轴(16)连接安瓿支杆(13)，安瓿支杆(13)顶端设置安瓿(11)，安瓿(11)同轴连接于炉膛(10)中轴线上；炉体(12)下端设置与安瓿支杆(13)动密封配合的炉体密封门。

2.根据权利要求1所述的炉体移动式高纯晶体生长装置，其特征是：所述的炉芯(9)为设置2～3段可调恒温区和1～2段温度梯度区的多单元组合结构，各温度区的温度分别调节控制；所述的炉芯(9)的高温恒温区长度≥300mm，低温恒温区长度≥300mm。

3.根据权利要求1所述的炉体移动式高纯晶体生长装置，其特征是：所述的炉膛(10)为氧化铝陶瓷管炉膛。

4.根据权利要求1所述的炉体移动式高纯晶体生长装置，其特征是：所述的丝杠(3)为精密滚珠丝杠。

5.根据权利要求1所述的炉体移动式高纯晶体生长装置，其特征是：所述的炉体(12)为圆筒型双层结构，外层可沿圆周滑动开启或闭合。

6.根据权利要求1或5所述的炉体移动式高纯晶体生长装置，其特征是：所述的炉体(12)与滑座(4)铰接配合，炉体(12)和滑座(4)之间设置角度调节机构。

7.根据权利要求1所述的炉体移动式高纯晶体生长装置，其特征是：所述的安瓿控制装置(7)设置有水平移动和旋转控制机构。

8.根据权利要求1所述的炉体移动式高纯晶体生长装置，其特征是：所述的机架(1)立柱上设置1或2套炉体(12)，对应炉体(12)设置1或2套安瓿控制装置(7)，形成单炉体晶体生长装置或双炉体晶体生长装置。

9.根据权利要求1或8所述的炉体移动式高纯晶体生长装置，其特征是：所述的机架(1)上设置支撑杆(14)。

10.根据权利要求1所述的炉体移动式高纯晶体生长装置，其特征是：所述的丝杠电机(2)、旋转电机(15)、炉芯(9)、炉体(12)与自动控制装置电性连接；所述的自动控制装置设置遥控盒。